面向5G应用的薄膜腔声谐振滤波器的设计.pdf

ｍ ｍ  摘要 Ａ 薄膜腔声谐 波器 （ ＦＢ Ｒ） 因为其优异的性 和 良好的兼容性， 因而 振滤 能 在 线领域中有着广泛 应 。 着 五代 动 技 （ ５Ｇ） 世， 通 无 的 用 随 第 移 通信 术 的 问 信 域 振 越 越 。 ５ 之 高性能谐 器的 求 来 高 在 Ｇ技术 标 下， 我 领 对 要 的新 准 们需要有更 滤 器 配， 且扩 。 多的高性能 波 来实 不 同频带的分 并 展 有的频带 在薄膜腔声 现 现 器 近主谐振 （或 生 谐 滤波 中， 接 频率 出 的寄 模式 寄 横向模式） 的 ， 振 处 现 生 出现 会降低谐振器的性能 数 （ ） ， 且在滤波器 通 中 生 。 目 和 品质因 Ｑ 并 的 带 产 纹波 前 己 主 生 式。 提 有许多 宄来改善 种 谐 模式中存在 的杂散抑制 的寄 模 为 高 研 这 振 Ａ ＦＢ Ｒ 的 止 泄 ， 较 出 ＦＢＡＲ 上 用 〇 并防 能 的横向 的 的 电极 采 框 值 量 漏 早提 在 边缘 法， 滤 。 目 双 架结构的做 实 了很好 波 能的效果 在 前的文献中， 单阶框架， 现 性 双－ 已 近 文献 反 兰 谐 阶 架， 阶框架 在最 的 中被介绍， 它们 映了 波向 振腔有 框 双 姆 源