半导体工业的环境保护.doc.pdfVIP

半导体工业的环境保护 随着人们环境意识的增强，对环境保护问题的关注程度也在增强。我们只有一个地球，在发展经济的 同时如何保护好我们的生存环境已经成为一个紧迫的话题。减轻对地球环境的负担，确保安全和健康并 保护环境。以节约能源节省资源 ,废物再利用，减少废弃物，管理好化学物质的排放成为人们对环境实 施保护的共识。结合推进 ISO14000 认证，以建设 21 世纪绿色工厂为目标，人们在环境保护方面进行着积 极的努力，半导体制造工业的特殊性，使得各业者更加关注环境保护问题。 地球温室效应的防止 防止地球的温室效应成为近年来被广泛关注的热门话题，在半导体制造行业中主要涉及两个方面的问 题： 1 ．节约能源 半导体工业的制造设备、空调设备、冷 / 热源设备以及纯水、供液、排气、气体、电气等设备的使用以每 天 24 小时、每年 365 日连续运转，消耗着大量的能源。从消耗能源的种类来讲电力能源约占 85 ％，燃油、 蒸汽等能源占 15 ％。从电力消耗的用途来讲前工序制造设备约 40 ％—50 ％，空调、冷／热源设备约 30 ％，其它辅助设备约 25 ％。 节约能源、降低成本，提高产品竞争力是各企业已经长期付诸实施的一项工作，一方面通过对现有设备 的技术改造能够取得明显的经济效益，但另一方面现在半导体工厂的投资额巨大，技术的发展极快，作为 半导体业者，今后节约能源的研究方向应在如下方面作出努力： 制造设备方面：提高能源的转换效率从而提高能源的利用率以达到节约能源的目的；降低设备待机状态 的电力消耗，相应地减少空调的负荷以求达到节约能源的目的；降低设备的排气量使尾气处理负荷降低而达到 节约能源的目的；减少设备的安装面积以此来控制净化区的面积达到节能的目的。 辅助设备方面：设备的小型化；减少高净化区的面积以求减少空气循环的动力消耗从而节约能源；选用压 力损失小的空调系统；新型保温材料的使用促使电力消耗的平稳化；新型能源的采用减少使用能源过程中产生 的二氧化碳。 产品开发和工艺设计：开发高附加值的产品；注重成本的产品开发 ( 缩小芯片面积，工艺标准化，缩短 设计周期 ) ；提高生产 ( 提高产出率，减少工程数，缩短测试时间 ) 。 半导体工业的发展本身产品向高性能化，轻薄短小化，低耗能方向发展。为机器设备向节约能源方向作 出了贡献。我们期待着以节约能源为目的的新型设备的投入使用。 2 ．减少 PFC PFC ( PRE FLUORO CARBON) 在半导体制造上主要是在 CVD 工程上，作为清洁气体使用 和在干法刻蚀 工程上，作为工艺气体使用。 PFC 由于能够破坏地球的臭氧层产生温室效应已经被列入减少排 出对象。现在大部分没有被进行处理而直接向大气排放，减少排出 PFC 成为今后半导体制造产业所面临的一个 重要课题。 今后的研究方向将围绕着如下几方面开展： 排出的 PFC 回收再利用系统的开发 ( 涉及到如何有效而且低成本的将 PFC 进行回收、分离、再精制技 术) ；排出的 PFC 处理新技术的开发 ( 将 PFC 转换成不产生温室效应的气体排放 ) ；替代气体的开发 ( 用 地球温暖化系数小的气体替代现在使用的气体；新工艺的开发 ( 研究新的刻蚀工艺 ) 。 日本在 1998 年 4 月公布的 “控制电子产业中 PFC 等排出的计划 ”中，提出了以 1995 年为基准的削减 目标，到 2010 年每个工程的排出量对新线削减 70 ％，对旧线削减 10 ％。在美国也对半导体工业所使用的 PFC 的回收率提出了目标。在这里提请国内的业者及早关注此问题。 工业废物 半导体制造工程中减少工业废物的基本原则：制造方法的改变。通过制造工艺的改变减少再资源化处 理困难的药品使用量；优化工艺条件，减少使用量；对使用后的药品分别回收，以求再资源化；除害装置 的改进。提高除害效率，回收装置本身排出的废液。 减少工业废物的研究方向：再资源化处理困难的工业废物的开发利用；提高再资源化的推进质量；提高 药品的使用效率。设备方面的改进使药液的利用率提高，开发新的工艺减少药液的使用量；再资源化型材料 的替代。 化学物质 半导体制造过程中使用了多品种大量的化学物质。化学物质的运输、储存、使用和排放都有严格的 规定。政府