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洁净室简介 提纲 一、洁净室之定义 二、洁净室的等级 三、洁净室所要控制的内容 四、洁净室之分类 五、洁净室气流之流动 六、洁净室之构成 一、洁净室之定义 洁净室 (Clean Room) ，也叫无尘室。 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、 细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速 度与气流分布、 噪音振动及照明、 静电控制在某一需求范围内， 而所 给予特别设计之房间。 亦即是不论外在之空气条件如何变化， 其室内 均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特 性。 洁净室最主要之作用 在于控制产品 (如硅芯片等 )所接触之大气 的洁净度及温、 湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、 制造， 此空间我们称之为「洁净室」 。 污染源知识 1、发尘量 洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内； 产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于 金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占 10%以下， 发尘主要来自人，占 90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进， 发尘绝对量也不断减少。 A 、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。 B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少； C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间 3-7 倍； D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。 室内维护结构表面发尘量， 以地面为准， 大约相应 8 平方米地面时的表面发 尘量与一个静止的人的发尘量相当。 2、发菌量 分析国外试验资料可以认为： （１） 洁净室内当工作人员穿无菌服时： 静止时的发菌量一般为 10-300 个/min.人 躯体一般活动时的发菌量为 150-1000 个/min. 人 快步行走时的发菌量为 900-2500 个/min. 人 （２） 咳嗽一次一般为 70~700 个/ min. 人 喷嚏一次一般为 4000~62000 个/ min. 人 （３） 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min. 人 （４） 无口罩发菌量 :有口罩发菌量 1:7~1:14 （５） 发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例： （６） 手术中人员发菌量 878 个/ min. 人 所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过 300 个/ min. 人，动态发菌量一般不超过 1000 个/ min/ 人，以此作为计算依据是可行的。 二、洁净室的等级 世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准 209 为多， 以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比 较。 209E 与 209D 等最大之不同在于 209E 表示单位增加了公制单 位，洁净室等级以‵ M′字头表示，如 M1 、M1.5 、M2.5 、M3….. 依此 类推，配合国际公制单位之标准化， M 字母后之阿拉伯数目字是以每 立方公尺中 =0.5 μm之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示， 取指数 为之，若微尘粒子