无尘洁净室尘埃粒子检测统一标准操作作业规程.docVIP

洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 目标：叙述洁净室（区）中悬浮粒子测试方法，用以规范职员检测操作。 范围：适适用于企业内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。 测依据： 内容： 5.1 仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。 光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm；滤膜显微镜用于粒径≥5μm悬浮粒子计数。使用光散射粒子计数器时应严格根据仪器说明书操作。 测定标准 洁净度 等级 悬浮粒子最大许可数／立方米（a） 频次 静态(b) 动态(b) ≥0．5μm(d) ≥5μm ≥0．51μm(d) ≥5μm 100级 3500 1 3500 1 一次／月 10000级 3500 1 350000 20XX 一次／月 100000级 350000 20XX 3500000 20XX0 一次／月 300000级 3500000 20XX0 不作要求 不作要求 5.3 测试方法 5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书要求对仪器进行校正。 5.3.2 采样管口置采样点采样时，在确定计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.4 采样管必需洁净、严禁渗漏。 5.3.5 采样管长度应依据仪器许可长度，除另有要求外，长度小于1.5m。 5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处于同一气压和温度下，以免产生测量误差。 5.3.7 必需根据仪器检定周期，定时对仪器作检定，以确保测试数据可靠性。 5.4 测试规则 5.4.1 测试条件 5.4.1.1 温度和湿度：洁净室温度和相对湿度应和其生产及工艺要求相适应，温度控制在18～26℃，相对湿度控制在45～65% 5.4.1.2 压差：空气洁净度不一样洁净室（区）之间压差应≥5Pa，空气洁净度等级要求等高洁净室（区）对相邻空气洁净度等级低洁净室（区）通常要求呈相对正压。 5.4.2 测试状态：有静态测试和动态测试。 5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必需符合要求。 5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态，所产生粒子不影响最终产品作业，可许可超出标准，但当操作完成10分钟后，粒子水平必需恢复到以洁净区尘粒最大许可数范围之内，应定时监控动态条件下洁净情况。 5.4.2.3 测试汇报中应标明测试时所采取状态。 5.4.3 测试时间：对单向流，测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 5.4.4 悬浮粒子计数 5.4.4.1 采样点数目及其部署 5.4.4.1.1 采样点数目及其部署应依据产品生产及工艺关键操作区设置。 5.4.4.1.2 采样点部署要求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5.4.4.1.3 采样点通常在工作台面上0.2m高度平面上均匀部署。 5.4.4.2 采样点限定：对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数能够多于1次，但不一样采样点采样次数能够不一样。 最少采样点数目 面积m2 洁净度等级 100 10000 100000 10 ≥10＜20 ≥20＜40 ≥40＜100 ≥100＜200 ≥200＜400 ≥400＜1000 ≥1000＜20XX 20XX 2～3 4 8 16 40 80 160 400 800 2 2 2 4 10 20 40 100 200 2 2 2 2 3 6 13 32 63 注：表中面积，对于单向流洁净室，是指送风面积，对于非单向流洁净室，是指房间面积。 5.4.4.3 采样量： 最小采样量 洁净度等级 采样量,升/次 ≥0.5μm ≥5μm 100 10000 100000 300000 5.66 2.83 2.83 _ 8.5 8.5 5.4.4.4 采样注意事项 5.4.4.4.1 在确定洁净室(区)送风和压差达成要求后,方可进行采样。 5.4.4.4.2 对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流，采样口宜向上。 5.4.4.4.3 部署采样点时，应避开回风口。 5.4.4.4.4 采样时，测试人员应在采样口下风侧。 5.4.4.4.5 悬浮粒子浓度采样数据应按下述步骤作统计计算。 5.5 结果计算 C1+C2+------+CN 5.5.1 采样点平均粒子浓度A= ———————— N 式中： A--某一采样点平均粒子浓度，粒/m3； Ci--某一采样点粒子浓度（i=1，2，---，N），粒/m3； N--某一采样点上采