无尘车间相关知识及进出作业流程.docVIP

无尘车间相关知识 怎样进入 无尘洁净室？1、???? 任何进入无尘洁净室人，必需优异入无尘更衣室，穿上无尘帽、无尘口罩、无尘衣、静电防尘手套、无尘裤、无尘靴（图①所表示）。经过这套外形很“酷”防尘装备可将大家身上已经有灰尘隔离在无尘洁净室之外，但这才是第一步。2、???? 接着就要进入风淋室。所谓风淋室是指一条“吹风长廊”，不过在这条长廊中吹出来强风是没有任何静电存在离子风。这种离子风所含有中和能力能够将人身上正负电荷中和，而且依靠静电黏附在毛发、衣服上灰尘也会自动脱落并粘在地板上蓝色洗尘垫上（图②所表示）。3、???? 走过风淋室后，就进入无尘洁净室了。假如无尘洁净室生产产品要防静电，则还要经过“静电桥”根当地消除身上静电。若进入百级洁净室还反复2、3步骤动作。什么是无尘概念？根据国际通例，无尘净化等级关键是依据每立方米空气中粒子直径大于划分标准粒子数量来要求。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个很微量单位上。当然这个标准中符合灰尘标准颗粒相对于我们常见灰尘已经是小微乎其微，不过对于光学结构而言，哪怕是一点点灰尘全部会产生很大负面影响，所以在光学结构产品生产上，无尘是肯定要求。　　如表1所表示，每立方米将小于0.5微米粒径微尘数量控制在3500个以下，就达成了国际无尘标准A级。现在应用在芯片级生产加工无尘标准对于灰尘要求高于A级，这么高标关键被应用在部分等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称1K等级。 表1??A级?B级?C级粒径?≤0.5?≤0.5?≤0.5个数?≤3500?≤10000?≤18000 洁净室动线计划 所谓[动线]，是指人员、原料之入室路线，和人员和成品出室路线。计划时，要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之步骤等，尽可能缩短动线，并避免交叉，以预防交叉污染(Cross Contamination)。 关键点：1．?作业者、材料、化学药品等动线勿集中。2．?制造装置之出入，需不对作业产生大影响。3．?超洁净室四面，宜设缓冲区(即较差洁净区)。洁净室计划 通常性计划关键 洁净室整厂计划(Turn Key Projects)(如表3-1)，因包含范围极广，需建筑、水电、空调、环境保护、防震、制造等各项专业人才共同计划，尽管不少洁净室计划，多需要就于现有建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确定下列事项： 1. 洁净度等级。?2. 室压之平衡方法。3. 温湿度要求。?4. 机器设备之必需性。5. 确定生产步骤。?6. 局部排气之必需性。7. 以后扩充弹性。?8. 足够维护保养空间。9. 空调送风方法。?10. 职员休息区之安排。11. 设施和动力之配置。?12. 室内净高和楼板载重。13. 设备空间和管道间。?14. 门窗宜少，气密性要佳。15. 静电、振动及噪音。?16. 生产线和活动线少交叉。17. 公害、污染和防灾。?18. 安装及运转成本之衡量。洁净室人员卫生和个人职责引言洁净室一有些人员进入，其洁净室就将改变。人外层皮肤不停地向周围环境释放粒子。之所以发生这一情况，是因为外皮细胞连续不停地被其下新细胞所替换。服装和首饰等磨擦，会增加外皮释放粒子数量。因为人员在工作时，会有更多活动，所以释放粒子数量也对应增加。 人是污染发生器表27说明人在进行多种活动时释放粒子数量。因为不可能将人完全密封在微过滤器之中，也不可能给人塑造一个完整空气动力学形状，所以人总是对周围环境产生影响。这还要看人工作是在万级亦或是1级洁净室进行。对于很关键工艺步骤，曾尝试用自动化装置或机器人替换人员。尽管自动化装置或机器人能够降低向环境释放粒子，但并不能根本清除粒子。即使良好建筑物和良好送风系统，会使多种生产工艺有更适宜环境，从而降低了污染。然而最关键是，污染控制和洁净室技术是以高度自觉、高度熟练人员作为基础，而这些2人员是穿着洁净服根据要求工序工作。 表27 人体粒子释放数量和活动关系 活动内容 每分钟产生大于等于0.5微米粒子数量坐姿、站立不动 100000坐姿，头臂有动作 500000坐姿，臂、腿、头有活动 1000000起立 2500000慢走 5000000正常行走 7500000以每秒2.5米速度行走工作时 1500 表28 污染源及其对环境影响污染起源 粒子粒径(微米)磨擦带油漆表面 90折纸 65磨擦环氧树脂处理过表面 40用圆珠笔在一般纸上书写 20磨擦皮肤 4 活动内容(正常呼吸条件下) 粒子粒径(微米)刷衣服 1.5-3跺脚(不带鞋套) 10-50跺脚(带鞋套) 1.5-3从口袋中掏手绢 3-10正常呼吸 1吸