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2020-11-21 发布于山东
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光电测量系统设计.docx

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. 光电测量系统设计基于干涉方法测量压电陶瓷微小伸长量指导老师：朱海东樊敏姓名：陈权学号： 2013031053 班级：电科 132 班时间： 2016 年11月 7 日 . . 摘要本次实验为光电测量系统设计，从而测量压电陶瓷由于加热而产生的微小形变量，故需要掌握干涉和衍射的基本原理和产生条件，结合相关仪器软件完成对光电探测器的设计。首先是对通过杨氏双缝干涉，夫琅禾费衍射， PSD 微小位移测量实验对理论知识的补充和了解，并对测量系统的搭建有一个大概的构思。然后在机房通过仿真软件 ZMAX完成扩束准直系统的设计， ZW CAD绘制出探测器的光学结构（探头主体、底座、支杆等）；最后，进行了光纤端面处理和光纤传感综合实验。关键词：光电测量系统；干涉；衍射；探测器；光纤实验 . . 目录论文总页数： 11 页 1. 简介 . ..................................................................... 1 1.1. 实验目的及内容 ........................................................ 1 2. 干涉及衍射原理 . ........................................................... 1 2.1. 干涉 .................................................................. 1 2.1.1. 干涉原理 . ......................................................... 1 2.1.2. 干涉条件 . ......................................................... 2 2.1.3. 实现光束干涉的基本方法 . ........................................... 2 2.2. 衍射 .................................................................. 2 2.2.1. 衍射原理 . ......................................................... 2 2.2.2. 衍射分类 . ......................................................... 2 3. 干涉仪 . ................................................................... 3 4. 整体结构 . ................................................................. 4 5. 上机 . ..................................................................... 5 5.1. ZMAX仿真设计 ......................................................... 5 5.1.1. 单透镜 . ........................................................... 5 5.1.2. 双透镜 . ........................................................... 5 5.1.3. 扩束准直系统 . ..................................................... 6 5.2. 探测器设计 ............................................................ 7 6. 总结 . .................................................................... 10 6.1. 实验结果及分析 ....................................................... 10 6.2. 问题分析 ............................................................. 11 6.3. 实验改进 ..........