表面课件教学提纲.ppt

表面课件;本课程的基本要求;第一章 绪 论;表面科学是一门有相当历史而又年轻的学科。;◆需要许多新的测试手段和分析方法。这些都是在原子 尺度上进行测量。;表面科学可以说是由二大部分组成，既表面物理和表面化学。 表面物理主要论述表面的电子性质、光学性质和机械性质等， 而表面化学着重讨论表面成键和电子性质支配的化学作用等。 在我们的讨论中常常混在一起。;一表面与体内的差别;制造半导体器件时，硅表面要生长一层氧化层，实验 发现这个氧化层实际上又分为几层不同含???量的氧化 硅(SiOx)。含铬不锈钢的表面往往有铬的偏析。;2. 表面的原子排列与体内不同;重构和弛豫是经常发生的，以硅(111)面为例，在真空中 解理后的表面是(2×1) 。在＞200°C温度下退火则变成 (7×7)；如果将温度升到高温1000°C还会变成高温相(1×1) 结构，再经过室温淬火后，才得到(1×1)结构。 ;;4. 表面原子的电子结构;二表面科学的实际应用;⑴改善金属的机械性能和防止金属被腐蚀;⑶界面的研究;⑷半导体超晶格;⑸能源开发和研究;;§1-2表面科学的研究方法;②表面层的结构 即表面上这一层原子的排列。一般地，与体内不一样。 低能电子衍射(Low Energy Electron Diffraction, LEED) 离子散射谱(Ion Scattering Spectroscopy, ISS) 光电子衍射(Photoelectron Diffraction, PhD) 扩展X射线吸收精细结构谱(Extended X-ray Absorption Fine Structure, EXAFS) 扫描隧道显微镜 (Scanning Tunneling Microscopy, STM) 此外，还有场致电子显微镜(Field Emission Microscopy, FEM) 场致离子显微镜(Field Ion Microscopy, FIM) ;③表面的电子态（能量分布和空间分布） 电子在表面所处的势场与体内不同，电子态也不同，特别是 存在一些局域于表面的电子态，称为表面态。表面态与表面 的电性能和化学性能有密切关系，也与表面原子排列有关。 X射线光电子谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) 紫外光电子谱(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, UPS) 离子中和谱(Ion Neutralization Spectroscopy, INS) 能量损失谱(Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS);2002年5月劳伦斯伯克 利国家实验室解雇了 维克托·尼诺夫。他在 1999年6月伪造数据， 称发现第116号和第118 号元素。发表在PRL上 被评为1999年度世界十 大科学进 展。但法， 德，日以 及伯克利 都不能重 复。后内 部调查出;这样需要的仪器设备较复杂，且得出的规律不一定能 直接应用到实际。但必不可少。;第二章实验方法总论;一 超高真空的必要性 ;P=nKT 其中 k=1.0349x10-19托?厘米/K?个; 对20°C空气(M=29) N=3.8?1020P (个/cm2sec);每小时只形成1%单原子层就是0.3x1010个/cm2sec p=N/3.8x1020=0.3x1010/3.8x1020~0.7x10-11托;二超高真空的获得;;(1) 扩散泵+升华泵超高真空机组;1)工作压强范围：一般 为10-4~10-8托，超高真 空机组10-10左右;缺点： ①有油污染的可能； ②必须同时保证电和水的供应； ③在超高真空中使用，必须有冷阱和液氮供应。;扩散泵的标称抽速与入口直径D（厘米）的关系;(2) 分子泵+钛升华泵 超高真空机组;;;钛升华泵：;热辐射球蒸发器 的结构如图。 一般钛球壳体的 半径为1.24英寸 （31.5毫米）球 壳厚度0.15英寸 （3.8毫米）。 当输入功率为 450瓦时，钛球 的升华率为 0.01克/小时，输入功率为710瓦时， 钛球升华率可达0.5克/小时。;钛离子溅射泵;钛离子溅射泵的工作原理;溅射离子泵的潘宁放电如图。 电子在洛伦兹力的作用下，作轮滚线运动。 轮滚线的大小是电子速度和磁场强度的函数。 电子经过很长的路程才落到阳极（10-10Torr 时约为1万公里）。很多电子绕阳极筒旋转 形成旋转电子云，旋转频率约为100兆赫数 量级，储存的电荷密度可达1010[个/立方厘米] 量级。;上述的是以二极溅射离子泵为例，下图是改进的三极