薄膜物理与技术-第五章 薄膜生长.pdfVIP

薄膜物理与技术 材料物理系专业必修课程 第五章 薄膜的生长过程和薄膜结构 功能材料绿色制备与应用教育部重点实验室 半导体薄膜及器件研究团队 1.薄膜生长过程概述 薄膜的生长过程直接影响薄 膜的结构以及它的最终性能，像 其他材料的相变一样，薄膜的生 长过程也可被分为两个不同的阶 段，即新相的形核与薄膜的生长 阶段。 功能材料绿色制备与应用教育部重点实验室 半导体薄膜及器件研究团队 1.薄膜生长过程概述 薄膜形核的三种模式： 实验观察到的薄膜生长模式可以被划分为以下三种： （1）岛状生长模式：这一生长模式表明，被沉积物质的原子或分 子倾向与自身相互键合起来，它们与衬底之间浸润性不好，因此 避免与衬底原子键合，从而形成许多岛，再由岛合并成薄膜，造 成表面粗糙。 （2）层状生长模式：当被沉积物质与衬底之间浸润性很好时，被 沉积物质的原子便倾向于与衬底原子成键结合。因此，薄膜从形 核阶段开始即采取二维扩展模式，薄膜沿衬底表面铺开。在随后 的沉积过程中，一直维持这种层状生长模式。 功能材料绿色制备与应用教育部重点实验室 半导体薄膜及器件研究团队 1