薄膜物理与技术 施立群 课程大纲.docVIP

复旦大学《薄膜物理与技术》课程教学大纲 课程代码 TCPH130017 编写时间 2012年10月 课程名称 薄膜物理与技术 英文名称 Thin Film Physics and Technology 学分数 2 周学时 2 *任课教师 施立群、王月霞 **开课院系 核科学与技术系 预修课程 高等数学、普通物理、热力学与统计力学。 课程性质： 核技术专业“核分析技术及应用”方向模块课程。 教学目标： 薄膜物理与技术课程分薄膜生长物理基础与薄膜技术两部分。通过该课程学习，使学生在物理基础部分了解薄膜生长的物理过程（包括热力学和动力学）, 薄膜的结构和缺陷及其研究方法，薄膜的电学、磁学、力学等物理性质；在技术部分懂得各种薄膜的制备技术与原理，膜厚、应力等测试方法。更进一步，通过薄膜物理与技术的初步学习，对学生今后从事此方面的研究起到促进作用。 教材和教学参考资料（不少于5种） 作者 教材或参考资料名称 出版社 出版年月 杨邦朝 薄膜物理与技术 电子科技大学出版社 1994年 Milton Ohring 薄膜材料科学 世界图书出版社 2006年 吴自勤 薄膜生长 科学出版社 2001年 郑伟涛 薄膜材料与薄膜技术 化学工业出版社 2005年 薛帪泉 薄膜物理 电子工业出版社 1991年 教学进度安排： 第一章薄膜生长物理过程（6学时） （1）核的形成与生长热力学 （2）核的形成与生长动力