3.6晶体硅太阳电池设计-化学腐蚀基础.pdfVIP

单晶制绒 (各向异性腐蚀 ) 硅的各向异性腐蚀是指对硅的不同晶面具用不同的腐蚀速率 .各向异性腐蚀剂一般分为两 类 :一类是有机腐蚀剂 ,包括 EPW 和联胺等 ,另一类无机腐蚀剂 ,包括无机碱性腐蚀剂 ,如 KOH NaOH LiOH 等 ,我们单晶制绒腐蚀剂用的是无机碱性腐蚀剂 . 在腐蚀液浓度一致的前提下 , 改变腐蚀液的温度 , 各晶面的腐蚀速率随温度的变化示于图 5 单晶制绒溶液通常用低浓度 （0.5.— 1.5wt%）的氢氧化钠混合 （510vol% ）的异丙醇 （或 乙醇）配制成，在 7580℃温度范围内对（ 100）晶向的硅片表面进行各向异性腐蚀，便可 以得到由（ 111）面包围形成的角锥体分布在表面上构成的绒面。 我们将 100 晶向上腐蚀速率与 111 晶向上腐蚀速率比值定义为各向异性因子 AF. 当 AF=1 时 ,腐蚀硅片可以得到平坦的表面 .当制绒液在 100 方向上具有相对高的腐蚀速率 (0.6um/min) 和 AF=10 的各向异性系数时在硅片表面上得到最高的角锥体密度 ,能够腐蚀出高 质量绒面 .腐蚀碱溶液的浓度 ,温度对 AF 有显著影响 .一般来说 ,低浓度的碱溶液和较低的温度 具有较高的 AF 值 ;反之 ,高浓度的碱溶液和较高溶液温度则对应低的 AF 数值 .因此 ,前者用于 制绒工艺 ,后者用于抛光工艺 ,在实验和生产实践中发现 ,制绒溶液配制好后 ,初次使用时 AF 不 高,并且锥体的覆盖率也不高 .使用若干次以后 ,AF 值和绒面覆盖率逐渐提高并趋进最大值 .再 继续使用若干次后 ,AF 值和绒面覆盖率逐渐降低 ,直到溶液失效不能使用 ,这时候就要重新配 制溶液了 . 硅在碱溶液中的腐蚀现象，可以用电化学腐蚀的微电池理论进行解释 . 阳极处 -2 Si+6OH ˉ SiO3 +3H 2O +4e 阴极处 2H + +2e H2 ↑ 总的反应式 Si +2NaOH +H 2O Na2SiO3 + 2H 2 ↑ NaOH 的作用 Si在 NaOH 腐蚀液中反应过程，首先由水分子分解出氢氧根离子 , 氢氧根离子与表面原子未 配对的电子结合形成 Si— O键 , 然后打断表面原子与其它硅原子连接的共价键 ,最后生成 Si(OH )4. 我们以 (100) 面的原子为例 , 其反应过程可表示为 : 编辑版 word 在第二步反应中 , 由于硅表面存在成键的 OH 基团 ,使硅表面原子的背键强度降低 , Si(OH )2 团中的 Si— Si 背键被打开 , 形成了带正电荷的氢氧化硅复合物 : 氢氧化硅复合物进一步与两个 OH- 反应产生原硅酸 : 从以上反应过程可以看出 , 在硅表面的原子被“移去”的过程中 . 除去硅原子未受腐蚀的起始态和被腐蚀反应为原硅酸的最终态之外 , 还有若干个中间状态 , 从微观角度来说 , 各中间状态反映出腐蚀的微观过程 , 可用来说明腐蚀的机制 . 我们认为 , 处在不同晶面的硅原子的腐蚀速率之所以不同 , 一方面是与