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TFT制造原理和流程;目录;一、液晶显示器(LCD)的基础;一、液晶显示器(LCD)的基础;一、液晶显示器(LCD)的基础;二、 TFT-LCD制造基本流程及设备;二、 TFT-LCD制造基本流程及设备;ARRAY制造流程图;TFT Array组成材料;TFT –GATE电极形成;TFT – Active(岛状半导体形成);TFT –S/D源漏电极形成;TFT –钝化层及接触孔形成;TFT – ITO像素电极形成;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;;;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;2.2 ARRAY工艺流程及设备;TEST-TEG TESTER;TEST-TEG Measurement Structure;TEST- Array laser repair;TEST- Arra