单向流/层流 置换脏空气 乱流 稀释脏空气 空气净化系统(HVAC) 两种气流形式的布风方案 选择人工方法监控 监控频率:必须保证关键参数的维护是在操作范围之内 偏移时间:其操作不会对产品或物料造成影响 安装确认要点 文件确认 设备安装确认 风管安装确认 关键仪表的校准和确认 高效过滤器的布置和安装确认 偏差报告 运行确认要点 验证用仪器校准确认 ? 高效过滤器完整性检查 房间风量和换气次数 ? 洁净区梯度压差测试 房间温湿度测试 ? 气流流形(影像记录) 自净时间测试 ? 洁净度测试(静态) 人员确认 ? 偏差报告 气流形式的测定 通过使用烟雾或其他可视悬浮微粒,形成可视的气流形式,来证明所有的空气流均符合要求 确认气流和设备间的相互作用,演示空气动力学障碍的有效性,这是运行确认阶段中最有价值的 这个测试,强烈推荐用于以空气动力学屏障取代物理屏障(A/B区域)的洁净区域 建议所有级别洁净室的关键部位,静态模式下的初始测试均应采用此法,以显示洁净室无死角、回风、泄漏或者扰流波 这些测试必须通过影音设备记录下来 性能确认要点 验证用仪器校准确认
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