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ES01光谱椭偏仪GRR分析
工作原理：宽光谱光源具有一定强度的探测光波，如果仪器中采用光纤进行柔性传输，则光波通过光纤进入椭偏仪的起偏臂，探测光经准直后,进入起偏臂,成为偏振态已知的光波:光波倾斜入射到样品台上样品表面时会发生反射和折射,样品对光波偏振态进行调制，使得反射光波中含有样品信息:反射光波经检偏臂中的偏振器件后进入摄谱型探测器进行探测,探测器获得的电信号进入计算机中进行处理；通过采用定量椭偏采样,可以分析出探测光波经样品表面反射前后的偏振态变化,由计算机软件计算得到光谱椭偏角（Ψ，Δ）；采用配套软件,建立物理模型,再利用拟合方法得到样品的信息,如纳米薄膜厚度、折射率n和消光系数k等。
为了对样品进行定量测量,ES系列光谱椭偏仪采用旋转补偿器的采样方法并结合傅里叶分析的数据分析方法来得到样品的椭偏角(Ψ，Δ),该方法克服了目前普遍采用的旋转检偏器的采样方法中存在的不足,具有如下优点:
测量不受光源或探测器的偏振敏感性的影响;
椭偏角Δ的范围为360°,一般定义为:-180°~+180
可以确定椭偏角Δ的符号:不需要直流信号
避免了测量△时的死角问题(即,当△接近0°或180°时采用旋转检偏器的方法测量精度极低);采用矩阵分析法对薄膜样品体系进行计算,采用快速数据拟合的方法得到样品的待测参数。
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