传感器与检测技术：电容传感器的测量线路.pptxVIP

p电容传感器的等效电路电容传感器在大多数情况下，当使用环境温度不很高、湿度不很大，若供电频率合适，设计合理，则可用一个纯电容来表示。若供电电源频率较低、或在高温、高湿环境下使用时，传感器电极间的等效漏电阻Rp（极板间的泄漏电阻和介质损耗）就不能忽略。其等效电路如图： 随着供电电源频率的增高，传感器容抗减小，极板间的等效漏电阻的影响就随之减弱。电容传感器的等效电路若供电电源频率较高（MHz级别时），传感器的漏电阻可以忽略，但是此时必须考虑传输线（一般为电缆）的电感和电阻。Rs包括传输线（导体）电阻、极板电阻和电容器支架电阻。L由电容器本身的电感和外部引线电感组成。此时等效电路如下： Cs电容传感器的等效电路实际应用中，特别在高频激励时，传感器的等效电容为：由于电容传感器的电容量都较小，容抗较大，因此计算时R可以忽略：则等效电容为：电容传感器的等效电路电容实际的相对变化量为：电容实际的灵敏度变化为：表明电容传感器的实际相对变化量与传感器的固有电感L、供电电源频率ω有关，实际使用时必须与标定的条件相同。改变供电频率传感器至转换电路的引线电缆后，必须对整个传感器重新标定。电容传感器的测量线路电容传感器的容量很小，其变化量更小。为了将弱小信号检出，一般都需要借助特定的测量线路。常见的主要有：调幅型测量电路、脉冲型测量电路、调频电路1. 调幅型测量电路 特点：输出与电容值变化量成比例的电压或电流 （1）交流电桥电路 接法可有多种。为了提高灵敏度，减小非线性和温度漂移，一般采用差动电桥方式。5.4、电容传感器的测量线路（2）变压器式交流电桥阻容交流电桥电路实际中使用不多，常用变压器式交流电桥。变压器式桥路可以说是阻容电桥的简化，它省去了两桥臂电阻 。其原理框图见下图所示：等效电路图C1、C2可以是差动电容器，也可使其中之一为固定电容器，另一个为电容式传感器；Zf为放大器的输入阻抗，一般可取Zf→?，Zf上的电压降即为电桥输出电压U0 5.4、电容传感器的测量线路因为变压器是中间抽头 ，则：由于C1、C2是差动电容器，所以有：于是有：5.4、电容传感器的测量线路由以上分析可见：变压器式交流电桥的输出电压与输入位移成线性关系，而且相移为零。只有当放大器的输入阻抗为无限大时才能做到。输出电压与供电电压成正比，因此，电源电压稳定性直接影响输出电压精度。 5.4、电容传感器的测量线路（3）运算放大器电路电容传感器接在运算放大器的反馈回路上作为反馈元件。当运算放大器的输入阻抗很高，增益很大时： 由运算放大器的工作原理可得：C－固定参考电容5.4、电容传感器的测量线路若Cx为变间隙式传感器， ，则：该式表明输出电压与极板位移dx成线性关系。由以上分析可见：运算放大器式电路能克服变间隙式电容传感器的非线性问题, 但是要保证电源电压的幅值和固定参考电容C值的稳定。5.4、电容传感器的测量线路2. 脉冲型测量电路（1）双T型电桥电路 参见教材Page92＋＋（2）差动脉冲宽度调制电路（脉冲调制电路）U05.4、电容传感器的测量线路（2）差动脉冲宽度调制电路（脉冲调制电路）C1、C2是差动电容式传感器，A1、A2为比较器，Ur为参考电压（直流稳压源）。工作原理：设接通直流稳压电源时，Q端为高电平U1，Q端经R1向C1充电，直至F点电位等于参考电压Ur，比较器A1输出正跳变信号，使双稳电路翻转，Q端变为低电平， 为高电平，C1经二极管放电至零。 端为高电平后，经R2向C2充电，以下过程同前。如此周而复始，双稳电路输出宽度受C1和C2调制的矩形脉冲。 5.4、电容传感器的测量线路电容充电时间长短决定了U1或U2保持高电平时间的长短！设u1为触发器输出高电平：T1、T2分别是C1、C2的充电时间。 则当充电电阻R1=R2=R时，可得：当C1=C2时，很显然，Q和 两端脉冲宽度一致，其平均电压为零 C1=C2时电压波形C1＞C2时电压波形C1＞C2，输出电压的平均值不为零： 5.4、电容传感器的测量线路可知，输出端的方波脉冲宽度取决于电容的充电时间，因而不论是变面积或变间隙都一样。 变间隙： 变面积： 差动脉冲宽度电路特点： 不论是变间距的还是变面积式的，都可获得线性输出； 输出信号一般为100K～1MHz的矩形波；只需一台直流稳压源（单电源）。 5.4、电容传感器的测量线路3. 调频型测量电路基本原理：把电容传感器接入高频振荡器的振荡回路，当电容的电容量发生变化时，振荡频率随之改变。 其灵敏度与初始频率 有关，通常初始频率达到MHz。该电路很复杂，分布电容影响较大。可测0.01?m级位移量。5.5 电容式传感器的应用1.电容式压力传感器将压力转换成电容变化的传感器，