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湖南纯臻净化工程 湖南纯臻净化工程 PAGE PAGE # 无尘车间标准等级的划分 无尘车间的等级说明 首先是无尘车间标准等级定义如下： Class X (at 丫 卩 m ) 其中X是无尘车间的等级，例如 100或10000等等，丫是粒径如0.2卩m , 0.5 ^m 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该 等级的限度。以下是几个例子： Classi (0.1 [1 m, 0.2 卩 m , 0.5 卩 m) Class 100(0.2 i m , 0.5 1 m ) Class 100(0.1 i m, 0.2 1 m , 0.5 1 m ) 在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100 , 1000 , 10000)，一般看一个粒径 即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10 , 1)，一般要看多几个粒径。 第二个是规定无尘车间的状态，例如: Class X (at 丫 1, mAt)-rest 第三个是自订微粒浓度上限，一般在 As-built时无尘车间都很干净，微粒控制能力 测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如： Class 10000 (0.3 1 m = 10000) , As-built Class 10000 (0.5 1 m = , 1000)As-built 这样做的目的是确保无尘车间在 Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力 以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和 ISO-14644的等级定义 Fed-Std-209E洁净度定义 M 3 35,000 991 7,570 , 214 3,090 87.5 1,000 28.3 M 3 35,000 991 7,570 , 214 3,090 87.5 1,000 28.3 Class Limits Mama 0.1 (im 0.2 ^m 0.3 ^m 0.5 (im 5 ^m IL j Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) 1 1 (m3) 1 (ft3) (m3) ,(ft3) (m3) (ft3) M 1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - M 2 3,500 [ ■ 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2?83 - - f 3 1 1 1 1 J [ ! 1 I r 1 1 II 1 M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 ISO-14644洁净度定义 Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the ISO classificati on nu mber(N) con sidered sizes show n below (concen trati on limits are calculated in accorda nee with equati on ISO Class 1 ISO Class 2 (1). 0.1mm 0.2mm 0.3mm 10 2 100 1 24 10 0.5mm 1mm 5mm 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 1 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 Q I ISO Class 7 1 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 NOTE Un certa in ties related to the measureme nt process requires that concen trati on data with no more the n three significant figures be u