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第 1 页太阳能电池 前清洗制绒工艺指导书 RENA 制绒 工艺操作规程 第 2 页太阳能电池 前清洗制绒工艺指导书 序言 为更好地保证 Schmid 制绒机的生产正常进行，稳定生产工艺，提高制绒 工序产品质量，进一步保证电池产品性能，特制定本作业指导书，以使操作人 员的工艺操作有章可循，规范统一，同时，还为新员工的上岗培训提供教材参 考。 第 3 页太阳能电池 前清洗制绒工艺指导书 目录 一、工艺目的 二、使用范围 三、责任 四、设备及工具 五、工艺原料及工艺要求 六、工艺描述 1、工艺原理 2 、制绒工艺流程 3、工艺方案 4 、注意事项 七、工艺准备 八、工艺操作 九、测试及检查 十、安全操作 附件 1 积分球绒面反射率测试仪操作说明 第 4 页太阳能电池 前清洗制绒工艺指导书 制绒工艺操作规程 1、工艺目的： 　 制绒工艺就是利用线锯切割时在硅片表面形成的损伤层及硅片表面的缺陷，通过硝酸 与氢氟酸的混合溶液对硅片表面进行化学腐蚀。使硅片在微观上形成高低不平的表面，增 加电池片表面的受光面积，降低反射率，从而提高太阳电池的转换效率。 2、设备及工具： SCHIMID 制绒机、电子天平、PVC 手套、口罩、防护服、防护眼罩、防护套袖、橡胶手 套、防酸碱胶鞋、methrohm 浓度分析仪、D8 绒面反射仪。 3 、适用范围：　 电池车间制绒工序SCHIMID 制绒设备 4、职责： 本工艺操作规程由工艺工程师负责制订、修改、解释 5、工艺原料及工艺要求： 合格的多晶硅片、HNO3 （65% 、电子级）、HF （49% 、电子级）、KOH （50%、电子 级）、HCl （37%、电子级）、DI 水 （大于 15 M Ω ·cm、6bar ）、冷却水 （4bar ）、压缩空气 （6 bar，除油、除水、除粉尘）、排风 （0.01bar ）、环境温度 20 ℃～30 ℃、相对湿度 40 ％～65 ％。 6、工艺描述： 6.1、工艺原理： SCHIMID 制绒工艺主要包括三部分： 硝酸与氢氟酸混合液腐蚀 → 氢氧化钾腐蚀 → 盐酸与氢氟酸混合溶液清洗 　　在制绒过程中，首先是硝酸与硅在损伤层与缺陷处发生化学反应，形成氧化硅，然后 氢氟酸与氧化硅反应生成硅的络合物 （H SiF ）与水，这样去损伤层与制绒同时进行，从而 2 6 缩短了工艺流程。 制绒之后的硅片经过 KOH 溶液去除硅片表面的多孔硅以及中和腐蚀槽中未清洗干净的 酸液，再经过 DI 水冲洗去掉表面残留的碱液。 最后利用 HF 与 HCl 的混合溶液除去硅片表面的各种金属离子等杂质，并用 DI 水冲洗 第 5 页太阳能电池 前清洗制绒工艺指导书 酸性表面，最后用压缩空气将硅片表面吹干。 制绒过程的反应方程式如下： 1) Si+4HNO =SiO +4NO +2H O 3 2 2 2 2) SiO +4HF=SiF +2H O 2 4 2 3) SiF +2HF=H SiF 4 2 6 6.2 、工艺流程： 上料→HNO 、HF 制绒→风刀 1→冲洗 1→KOH 腐蚀→冲洗 2→HF、HCl 清洗→冲洗 3→热 3 风吹干→下料 7、注意事项： 7.1、腐蚀槽的腐蚀速率会随着硅片清洗量的增加而改变，新换的药液反应速度慢，因此 需要降低带速，平均腐蚀深度的目标值为 3.6µm -4.8µm （由于设备差异，以及调试初期的 工艺变化会做相应调整），平均腐蚀量超出目标值应该进行工艺调整，合格品范围单片值 3.0µm-5.0µm，超出此范围应停产调试。新更换的药液通过调整带速 1.4-2.0