洁净室与静电分析.docxVIP

1、洁净室与静电 （1）洁净室 半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医药都需要洁净的生产车间，通常洁净室是指空间空气悬浮粒子浓渡被控制在规定界限内的房间 或限定空间，这尘埃粒子的粒径越小和被限定的粒数越小， 洁净度便越高。 2）洁净室的静电 由于洁净室的洁净度要求，室内使用 ①大量的高绝缘介质装饰材料、 地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等，这些材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。 光刻间塑料地面 500V~1000V ，扩散间塑料地面 500V~1500V ，瓷砖地面也有 500V~1500V ，塑料墙纸 700V ，塑料顶棚 OV~1000V ，金属活动皮芏椅面 500V~3000V 。 ②人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。 人穿尼龙衣、着塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动，人身上带 7000V~8000V 静电压。在乙烯基地板上行走可带 1200V （10%~20%RH ）、250V（65%~90%RH ），在地毯上行走可带 35000V 10%~20%RH ）、1500V （65%~90%RH ），晶片装配线，人穿的工作服可达 10KV 。 ③空调气流经过初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器，净化出口气流是带静电的。 铝板送风口、回风口 500~1000V 。 ④大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。晶片装配 生产线：晶片装料盒 35KV ，有机玻璃盖 8KV ，石英制品 1.5KV ，晶片托盘 6KV ，丙烯酸脂盖 20KV ，台桌面 10KV ，塑料存贮柜 30KV ，玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带 10KV 。 总之：洁净室的洁净度要求越高，静电带电便越严重。 洁净室静电的危害（1）静电库仑力 吸上粉尘、污物带给无器件，增大泄漏或造成短路，使性能受损，成 品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径 100μm，铝线宽度约 100μm，氧化膜厚度在 50μm时，最易使产品报废，现在线径更细，氧化膜很薄，很小粒径尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。 （2）静电放电 ESD ① 元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间融短。若人体带 上 10KV （100PF ）的静电荷，触摸器件脚时发生 ESD ，其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达 20A（10~100s ），不要说高密度，细线径，薄 Sio2 膜的 Lsi 、Vlsi 、就是一般 IC、MOS 都会遭受损坏。 一般说器件绝缘栅 Sio2 薄膜的耐压场强是 E=（5-10 ）×106V/cm ，如果器件 Sio2 膜厚度取 1000 ，其器件输入脚施加 50V-100V 以上的静电压就将会被击穿，而人带静电超过 50V、100V 是极平常的。 ② 造成噪声、发射电磁波干扰 ESD 引起 EMI 其电磁波的前后峰较尖，信号强，相当与电路中几伏 的能量，频率跨越几 MH2 甚几百 MH2 的强大噪声，可能引起元器 件损坏，设备和传感器不正常工作，甚至引起设备死机。 ESD 引起的 EMI 还会引发错误信号的输入，或发生锁存现象。如无尘室中，将晶园片的 EMIF 箱放在钢的手推车上，晶园片的 ESD 会通过电感传给手推车，车轮是绝缘的，则 EMI 的扩散会引起园晶片处理机死机。 ③ 电击人体 人的 ESD 或对人的 ESD 当超过人体电击极限电流 5mA 以上时，人都会有各种伤害感觉，造成工作人员的情绪不安，操作错误。 半导体，平面显示器，光电子等洁净室，尽管做了很多工作，但洁净室的静电问题仍然影响着生产安全和产品产量， 影响着制造成本和效 益，影响产品的质量和可靠性。有报导国外工业专家估计，美国由于静电造成产品的损失平均在 8-33% ，见表 3 静电损耗报告。 还有人估计美国每年静电对电子工业毁损价值达 80 年代曾对报废的电子产品进行分析，由 ESD  100 亿美元，日本 引起的损失占 1/3。 我国半导体，平面液晶显示，光电子等都起步较晚，但静电危害也累 有发生，成品率较低。如北京一公司， SMT 车间冬季 4 个月，常因 ESD 造成上百万元损失。上海一家外资企业办公电脑几千台却因 ESD 人员叫苦连天，电脑工作不正常。一家研究设计院 200m2 多的 电脑房， ESD 严重，无法正常工作。无锡一家外资企业，曾一度由于 ESD ，产品质量一直不稳定。而银行、证券公司、机要数据库、监控中心，电力调度室等等。如出现 ESD 就很容易引起干扰，数据遗失，情形就更严重了。 洁净室静电控制 （1） 静电控制的基本原则 ① 确定静电控制级别 ② 尽量减少静电荷的产生 ③ 泄放和中和的办法加速静电荷消散，防止静电积累 ④ 保护产品不受 ESD 的损坏