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基于体对角线的机床垂直度误差的高效测量分析 基于体对角线的机床垂直度误差的高效测量分析～任永强杨建国沈金华等 基于体对角线的机床垂直度误差的高效测量分析 任永强杨建国沈金华 WangCharles. 1.合肥工业大学 ,合肥 ,230069 2.上海交通大学 ,上海 ,200030 3.0ptodyneInc.,Compton,CA90220,USA 摘要 :垂直度误差所引起的位置误差是机床空间位置误差的重要组成部分 .提出利 用单 头激光多普勒位移测量仪及平面反射镜 ,通过测量机床的 4 条体对角线的位移误 差实现对机 床三轴间的垂直度误差测量 .实验结果表明 ,采用该方法测量垂直度误差快捷 ,方 便且准确 , 可对任意大小的机床进行测量 . 关键词 :空间位置误差 ;体对角线 ;垂直度误差 ;激光多普勒位移测量仪 中图分类号 :TH161 文章编号 :1OO4132X(2005)16— 1435 一 O4 AnalysisonEfficientMeasurementofSquarenessErrors alongBodyDiagonalsforMachineTools RenYongqiangYangJianguo.ShenJinhuaCharlesWang. 1.HefeiUniversityofTechnology,Hefei,230069 2.ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai,200030 3.OptodyneInc.,Compton,CA90220,USA Abstract:Thevolumetricpositionerrorscausedbysquarenesserrorsamongthethreeaxespla y animportantroleofthemachineerrors.Itisdifficulttoalignandtime — consumingtogetsquareness errorswithconventionallaserinterferometer,describedhereisanewlasermeasurementtech nique basedonasingle — aperturelaserDopplerdisplacementmeterwithaflatmirror.Andsquarenesser— rorsaredeterminedefficientlybymeasuringdisplacementerrorsalongthefourbodydiagona lerrors. Theexperimentalresultsshowthemethodbefeasibleandaccurate. Keywords:volumetricpositionerror;bodydiagonal;squarenesserror;laserDopplerdisplac ement mPtPr 0 引言 现代制造业对数控机床加工精度提出了越来 越高的要求 ,通过测量机床的各项几何误差并加 以补偿 ,可以很好地改善机床的运动性能 ,从而大 大提高加工精度 ,因此机床几何误差测量对机床 精度检定及误差补偿具有十分重要的意义 .机床 的进给行程越大 ,即被加工工件的体积越大 ,垂直 度误差所引起的空间定位误差越大 ,由此而造成 的工件加工误差也越大 .因此,研究一种快速 ,准 确 ,方便地检测垂直度误差的方法极具工程实用 价值 .对于大量程的三坐标测量机及大型机床 , 用普通的方法难以准确快速地测出垂直度误差 . 用普通单双频激光干涉仪测量垂直度是在测量直 线度的基础上进行的 j, 测量 ,调整过程费时复 杂 ,对操作者技术要求高 .使用球棒