绪论和微机械-教材.pptVIP

机械学基础 为什么要微型——“微型”的优势 大象四肢的尺寸与其躯干尺寸相比拟，但蚂蚁的四肢却相对纤细得多 蚂蚁能担负几倍于自身重量的载荷，大型动物们却很难做到 机械学基础 什么是微/纳米技术 微米技术（micro-technology） 微机电系统（MEMS） 微电子技术与精密机械技术 微型化、集成化、批量生产 纳米技术（Nano-technology) 纳米材料、纳米表征、纳米器件 纳米机械、纳米机电系统 纳米生物学 实验室技术——产业化手段 机械学基础 微/纳米系统分类及相关理论基础 机械学基础 微机电系统名称：也称微机械，在美国常称为微型电子机械系统（MEMS, micro-electro-mechanical systems); 在日本称作微机器（micro-machine)；而在欧洲则称作微系统（micro-system)。 微机械尺寸特征：分为1-10mm的微小型机械, 1?m-1mm的微机械, 以及 1nm-1?m的纳米机械。 微机械基本特点： １ ）体积小，精度高，重量轻。 ２ ）性能稳定，可靠性高。 ３ ）能耗低，灵敏性和工作效率高。 4 ）多功能和智能化。 5 ）适于大批量生产，制造成本低廉。 基本特征：微型化、集成化、大批量生产 机械学基础 微/纳米系统 微/纳米系统