引线键合双向振动超声换能器的设计与优化研究.pdfVIP

摘要 摘 要 引线键合具有工艺简单、成本低、封装形式多样化等特点，在管脚封装中处 于主导地位。超声换能器是引线键合工艺的核心执行机构，其能量传递过程及动 力学特性直接决定着封装的整体质量。当前引线键合换能器超声能量为一维纵向 加载模式，该种超声加载方式会造成不充分的结合面，不但导致键合强度下降， 而且严重影响键合点可靠性和寿命。本文采用整圆环与半圆环压电陶瓷片分别激 励的方式，产生轴向纵振和水平弯振复合的超声振动代替传统单一的轴向振动。 研制了一种用于引线键合工艺的纵弯复合双向超声能量加载模式的压电换能器， 该换能器可提高超声能量的转化效率进而改善封装质量。 主要研究内容如下： 基于超声一维纵振理论、等效动力学及电学模型，构建了双向换能器纵向振 动的整体等效电路，推导出换能器纵振结构尺寸。根据双向换能器纵振结构的电 阻抗数学模型，利用 MATLAB 编程计算得到了其纵振结构的阻抗特性。采用双 向换能器纵振与弯振结构一体化的设计方法，使用有限元分析软件，确定半圆环 弯振陶瓷片在双向换能器中的装配位置，得到了双向换能器整体结构的初始尺 寸。 采用 ANSYS 模态分析得到了双向换能器纵振和弯振模态的谐振频率及振 型。采用频率灵敏度法，得到双向换能器各零件尺寸参数对谐振频率的影响规 律，完成了其结构与尺寸优化，实现了纵振模态与弯振模态的简并，及双向换能 器纵、弯谐振节点位置与安装环位置的完全重合。利用谐响应分析得到双向换能 器末端不同频率下各个方向的振幅变化曲线，验证了另一方向俯仰振动对双向换 能器纵向振动和弯曲振动的影响极小。 采用阻抗分析仪对样机的阻抗特性进行了测试，测试结果与有限元仿真分析 结果基本一致。采用超声驱动器、激光多普勒测振仪、信号放大器等仪器设备搭 建了双向换能器的振动测试平台，获得了双向换能器纵振和弯振振幅。测试了不 同驱动电压下双向换能器的振幅，发现纵振与弯振振幅均随驱动电压的增加呈近 似线性上升趋势。进行双向换能器键合效果对比试验，根据试验焊点形貌、结合 面等因素判断，证明了双向换能器键合质量优于传统一维的键合质量。所做双向 换能器键合机理的研究与结构设计，对引线键合工艺的提高具有创新性的意义。 关 键 词：引线键合；双向换能器；等效电路；纵振模态；弯振模态 I 摘要 论文类型：研究类 选题来源：深圳学科布局项目“面向电子装备精密操作的压电智能系统优化设 计与控制研究”。（项目批准号：E） II 目录 目 录 第 1 章 绪论 1 1.1 课题的研究背景和意义 1 1.1.1 课题背景 1 1.1.2 研究目的和意义 2 1.2 国内外研究现状 4 1.2.1 引线键合研究现状 4 1.2.2 复合振动研究现状 5 1.2.3 引线键合双向换能器的研究现状 7 1.3 本文主要研究内容 8 第 2 章 双向换能器的尺寸计算及结构设计 9 2.1 双向换能器纵弯复合振动原理 9 2.2 双向换能器的设计要求 11 2.3 压电陶瓷纵振等效电路 12 2.3.1 压电陶瓷材料特性 12 2.3.2 压电陶瓷纵振等效电路 13 2.4 变幅杆纵振等效电路及阻抗 15 2.5 双向换能器整体纵振等效电路 18 2.6 双向换能器纵振结构尺寸及导纳特性 20 2.7 双向换能器弯振等效电路 22 2.8 双向换能器的结构设计 24 2.9 本章小结 25 第 3 章