(完整版)洁净区环境监测规程.doc

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本word文档可编辑修改 关注我 实时更新 最新资料 建筑 洁净区环境检测规程 1目的 规定洁净区的 控制指标和检测方法, 有效的 控制洁净车间和实验室洁净区环境的 洁净度, 满 足生产和检测环境的 要求。 2范围 本规程适用本公司洁净区环境的 洁净度检验。 3职责 化验员负责洁净环境检测各项技术要求的 检验。 4. 工作程序 4.1检验项目 温度、湿度、压差、风速(换气次数) 、尘埃粒子数、菌落数。 4.2温度、湿度 4.2.1要求 洁净区温度( 18-28)℃,相对湿度( 45-65)% 4.2.2仪器与设备 温湿度计 温湿度计必须在检定合格周期内 4.2.3操作方法 目测温湿度计 4.2.4测定频次 1次/班 4.3压差 4.3.1要求 洁净室与室外压差≥ 10Pa,洁净室与非洁净室≥ 5Pa,不同级别洁净室之间≥ 5Pa。 4.3.2仪器与设备 微压计 微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。 4.3.3操作方法 用微压计或数显压差计测试各室的 静压力,由两室静压力之差,为静压差。 4.3.4测定频次 建筑 1次/月 4.4换气次数 /风速 4.4.1要求如表 1所示: 表 1各级别洁净区风速的 技术指标 级别 100级 水平层流 垂直层流 —— 10000级 100000级 300000级 风速 ≥ 0.4 ≥ 0.3 —— —— —— m/s 换气次数 次/h ≥ 25 ≥ 15 ≥ 12 4.4.2仪器与设备 风速计 风速计必须在检定合格周期内。 4.4.3操作方法 4.4.3.1用风速计距风口下 25cm处测量风速,采样点为风口的 四个顶角及中心位置(不少于 5点)。计算 5个点风速平均值,为一个风口的 风速。 4.4.3.2换算公式: 换气次数 =∑(高效送风口风速×高效送风口面积) 被测房间体积 4.4.4测定频次: 1次/月 4.5尘埃粒子数 4.5.1要求如表 2所示: 表 2各级别洁净区尘埃粒子数的 技术指标 级别 100级 ≤ 3500 0 10000级 ≤ 350000 ≤ 2000 100000级 ≤ 3500000 ≤ 20000 300000级 ≤ ≤ 60000 尘埃数 粒/m 3 ≥ 0.5μm ≥ 5.0μm 4.5.2仪器与设备 尘埃粒子计数器 4.5.3内容 建筑 (1)用尘埃粒子计数仪在高度 (2)最少采样点数目的 确定如 表 3:最少采样点数目 0.8米水平面上的 位置采样,总采样次数不少于 3表所示: 5次。 面积 洁净度级别 m2 100级 2~3 4 10000级 100000级 300000级 <10 2 2 2 ≥ 10~< 20 ≥ 20~< 40 ≥ 40~< 100 ≥ 100~< 200 ≥ 200~< 400 ≥ 400~< 1000 2 2 2 8 2 2 2 16 4 2 2 40 10 20 40 100 200 3 3 80 6 6 160 13 32 63 13 32 63 ≥ 1000~< 2000 400 ≥ 2000 800 注:对于 100级的 单向流洁净室(区),包括 100级洁净 工作台,面积指的 是送风口表面积; 对于 10000级以上的 单向流洁净室(区),面积知道是房间面积。 (3)采样点的 位置 采样点一般在离地面 0.8m高度的 水平面上均匀布置。 采样点多余 5点事,也可以在离地面 点。 0.8m至 1.5m高度区域内分层分布,但每层不少于 5 采样点分布见附录 A (4)采样次数的 限定 对任何小洁净室(区)或局部空气净化区域, 采样点的 数目不得小于 2 个,总采样次数不得 少于 5次。每个采样点的 采样次数可以多余一次,且不同采样点的 采样次数可以不同。 (5)采样量 不同洁净度级别每次最小采样量见表 4 表 4最小采样量 最小采样量 洁净度级别 L/次 100级 10000级 100000级 300000级 建筑 ≥ 0.5μm 5.66 8.5 2.83 8.5 2.83 8.5 2.83 8.5 ≥ 5.0μm (6)采样注意事项 对于单向流洁净室(区),粒子计数器的 采样管口应正对气流方向; 粒子计数器的 采样管口宜朝上。 对于非单向流洁净室(区), 布置采样点是应尽量避开风口。 采样时,测试人员应在采样口的 下风侧,并尽量少活动。 采样完毕后,宜对粒子计数器进行自净。 应采取一切措施防止采样过程的 污染。 4.5.4采样结果的 计算 (1)采样点的 平均悬浮粒子浓度 A 采样点的 平均悬浮粒子浓度 A的 计算公式: ?? ∑

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