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建筑
洁净区环境检测规程
1目的
规定洁净区的 控制指标和检测方法,
有效的 控制洁净车间和实验室洁净区环境的 洁净度,
满
足生产和检测环境的 要求。
2范围
本规程适用本公司洁净区环境的 洁净度检验。
3职责
化验员负责洁净环境检测各项技术要求的 检验。
4. 工作程序
4.1检验项目
温度、湿度、压差、风速(换气次数)
、尘埃粒子数、菌落数。
4.2温度、湿度
4.2.1要求
洁净区温度( 18-28)℃,相对湿度( 45-65)%
4.2.2仪器与设备
温湿度计
温湿度计必须在检定合格周期内
4.2.3操作方法
目测温湿度计
4.2.4测定频次
1次/班
4.3压差
4.3.1要求
洁净室与室外压差≥
10Pa,洁净室与非洁净室≥
5Pa,不同级别洁净室之间≥
5Pa。
4.3.2仪器与设备
微压计
微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。
4.3.3操作方法
用微压计或数显压差计测试各室的 静压力,由两室静压力之差,为静压差。
4.3.4测定频次
建筑
1次/月
4.4换气次数 /风速
4.4.1要求如表 1所示:
表 1各级别洁净区风速的 技术指标
级别
100级
水平层流
垂直层流
——
10000级
100000级
300000级
风速
≥ 0.4
≥ 0.3
——
——
——
m/s
换气次数
次/h
≥ 25
≥ 15
≥ 12
4.4.2仪器与设备
风速计
风速计必须在检定合格周期内。
4.4.3操作方法
4.4.3.1用风速计距风口下 25cm处测量风速,采样点为风口的 四个顶角及中心位置(不少于
5点)。计算 5个点风速平均值,为一个风口的 风速。
4.4.3.2换算公式:
换气次数 =∑(高效送风口风速×高效送风口面积)
被测房间体积
4.4.4测定频次:
1次/月
4.5尘埃粒子数
4.5.1要求如表 2所示:
表 2各级别洁净区尘埃粒子数的 技术指标
级别
100级
≤ 3500
0
10000级
≤ 350000
≤ 2000
100000级
≤ 3500000
≤ 20000
300000级
≤ ≤ 60000
尘埃数
粒/m 3
≥ 0.5μm
≥ 5.0μm
4.5.2仪器与设备
尘埃粒子计数器
4.5.3内容
建筑
(1)用尘埃粒子计数仪在高度
(2)最少采样点数目的 确定如
表 3:最少采样点数目
0.8米水平面上的 位置采样,总采样次数不少于
3表所示:
5次。
面积
洁净度级别
m2
100级
2~3
4
10000级
100000级
300000级
<10
2
2
2
≥ 10~< 20
≥ 20~< 40
≥ 40~< 100
≥ 100~< 200
≥ 200~< 400
≥ 400~< 1000
2
2
2
8
2
2
2
16
4
2
2
40
10
20
40
100
200
3
3
80
6
6
160
13
32
63
13
32
63
≥ 1000~< 2000 400
≥ 2000
800
注:对于 100级的 单向流洁净室(区),包括 100级洁净 工作台,面积指的 是送风口表面积;
对于 10000级以上的 单向流洁净室(区),面积知道是房间面积。
(3)采样点的 位置
采样点一般在离地面 0.8m高度的 水平面上均匀布置。
采样点多余 5点事,也可以在离地面
点。
0.8m至 1.5m高度区域内分层分布,但每层不少于
5
采样点分布见附录 A
(4)采样次数的 限定
对任何小洁净室(区)或局部空气净化区域,
采样点的 数目不得小于
2 个,总采样次数不得
少于 5次。每个采样点的 采样次数可以多余一次,且不同采样点的 采样次数可以不同。
(5)采样量
不同洁净度级别每次最小采样量见表
4
表 4最小采样量
最小采样量
洁净度级别
L/次
100级
10000级
100000级
300000级
建筑
≥ 0.5μm
5.66
8.5
2.83
8.5
2.83
8.5
2.83
8.5
≥ 5.0μm
(6)采样注意事项
对于单向流洁净室(区),粒子计数器的 采样管口应正对气流方向;
粒子计数器的 采样管口宜朝上。
对于非单向流洁净室(区),
布置采样点是应尽量避开风口。
采样时,测试人员应在采样口的 下风侧,并尽量少活动。
采样完毕后,宜对粒子计数器进行自净。
应采取一切措施防止采样过程的 污染。
4.5.4采样结果的 计算
(1)采样点的 平均悬浮粒子浓度
A
采样点的 平均悬浮粒子浓度
A的 计算公式:
??
∑
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