材料科学研究方法课件-6深大第六章 透射电镜结构及电子衍射g.pdf

材料科学研究方法 ——第六章透射电镜（1）结 构及电子衍射 熊信柏 深圳大学 1 6.1 什么是透射电镜  定义：以波长很短的电子束作为照明，用电磁透镜聚 焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍数的微区分 析电子光学仪器。  功能 （a ）物相分析 （电子与晶体中的原子发生衍射， 获得衍射花样） 和（b）组织分析 （电子波遵循阿贝尔成像原理，通过 干涉，获得各种衬度图像）。  （c ）成分分析（波谱和能谱分析）  光学显微镜和电子显微镜的基本光学原理是相似的， 它们之间的区别仅在于所使用的照明源和聚焦成像的 方法不同，前者是可见光电子束照明，用一定形状的 静电场或磁场聚焦照明，用玻璃透镜聚焦成像，后者 用成像。 2  TEM简介：  透射电子显微镜 （简称透射电镜，TEM ），可以以几种不 同的形式出现，如：  高分辨电镜 （HRTEM ）  透射扫描电镜 （STEM）  分析型电镜 （AEM ）等等。  入射电子束（照明束）也有两种主要形式：  平行束：透射电镜成像及衍射  会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 3 6.2 透射电镜的发展历史 6.2.1光学透镜的衍射效应 光澜AB 限制的光束产生衍射。 在光澜的边缘 4 6.2 透射电镜的发展历史 Airy斑： 衍射使物体上的一个点在成像的时候不会是一个点，而是一个衍射光斑。 如果两个衍射光斑靠得太近，它们将无法被区分开来。 由斑点光源衍射形成的埃利斑（a ）及其光强分布图（b） λ 0.61 M R 0 n sin α 点光源通过透镜产生的埃利斑第一暗环半径 式中 n为介质折射率，λ照明光波长，α透镜孔径半角，M透镜放大倍数 说明埃利斑半径与照明光源波长成正比，与透镜数值孔径成反比． 5 6.2.2 光学显微镜的分辨率 1、一个世纪以来人们一直用光学显微镜来揭示材料 的微观结构，但光学显微镜的分辨能力有限的。 2、最小分辨距离计算公式： d指物镜能够分开两个点之 1 间的最短距离，称为物镜的 d 0.61 λ ≈ λ 分辨本领或分辨能力； n sin α 2 λ为入射光的波长； n为透镜周围介质的折射率 α为物镜的半孔径角