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台阶仪操作规范 编制 ： 审核 ： 批准 ： 发布日期： 实施日期： 1 目的 1.1 为正确操作使用台阶仪。 2 适用范围 2.1 适用于公司质量管理部人员。 3 职责 3.1 所有使用人员须严格遵守该操作规范；使用过程中如出现异常情况，则使 用人员必须停止使用并马上通知理化室相关人员。 4 工作内容 4.1 开机流程 4.1.1 检查线路是否连接正确，确认无接口松动。 4.1.2 打开电脑主机。 4.1.3 打开仪器电源盒(黑色盒子)，释放 EPO 红色按钮（箭头方向），按下白色 开机键，打开仪器。 4.1.4 打开 Vision 软件，进入测试界面。 4.2 关机流程 4.2.1 关闭 Vision 软件。 4.2.2 按下 EPO 黑色关机按钮，再按下红色按钮（emergency off 键）。关闭仪器 电源盒。 4.2.3 关闭电脑主机。 注：以上流程必须严格按规定进行，否则仪器会因为不能初始化而造成测量数据 不准确现象和损坏仪器的风险！ 4.3 测量流程要点 4.3.1 放置样品时必须点击，放置好样品，点击载入样品，然后点击，保证探针 能落到样品表面，如果测量点与探针在样品的位置有差异，点击，微调样品的位 置，点击，待探针落到测量的位置，点击开始测量分析， 4.3.2 单次测量界面设置 打开操作界面，在下面栏中设置参数。 通常需要设置的有 Length （扫描长度），Duration （扫描时间），扫描速度在20~50 μm/s 之间（由扫描长度除以扫描时间得到）比较合适，如果样品粗糙，保持 20 μm/s 左右，这样可以避免碰坏探针。最后点击开始测量。Stylus Type （探针曲 率半径）改成 2 μm 测量结果分析如图： 先进行水平调节，点击 lever-two 选项，再在右边点击右键，选择 Add ASH ，得 到台阶高度（膜厚） 4.3.3 多次测量设置 (1)首先重复单次测量过程，建立模板高级选项. a 点击在桌面上建立一个文件夹，打开后输入文件名， 1 （共6 页） b 点击进入设置界面，点击 Advanced Options 选项得到如下界面。 c 在 Measurements 位置处输入需要测量的次数，在 Starting Measurement Number 位置处输入起始编号一般输入 2 合适，点击 Browse，找到建立的文件夹 打开，输入之前的文件名。 d 在.OPDx 前面插入 Sep 函数，如上图所示（注意在符号.前面插入）。设置 完后开始点击开始测量。 如果要回到测量界面，点击进行设置，如果要转换到分析界面，点击进入分析界 面分析。 (2)测量结果储存，点击中的 Save As Bitmap 保存为图片格式，在测量界面上点 击右键，选择 data export，保存为 CSV 格式，得到原始数据。 (3)Z 轴校准 在如下界面进行。点击出现如下界面。点击弹出如下所示对话框。 将 9695 数值输入到 Certified Value 位置，将校准时测量的标准样块数值输入 到 Measured Value 位置，再进行测量，校准，直到测量值在 969.5±5.7nm 范围之内即可。一般一个星期或者一个月校准一次即可。 注意事项： 取出样品，放置样品要按照测量流程要点 1 进行，否则有损坏探针针尖的风 险。 2 （共6 页）