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镀膜作业基础培训（二） 邢德华 各位同行： 晚上好，今天跟大家交流的内容是真空镀膜的一些基本知识， 希 望大家有兴趣。 真空镀膜的意义： 光学零件真空镀膜是光学零件加工中必不可少的一道工序。 光学零件被镀膜后，可改变光在光学零件表面的光谱透、反射性 能。为满足不同的性能要求，形成了不同的光学薄膜系列。 为减少光在基片表面反射的薄膜称减反膜； 为增加光在基片表面反射的薄膜称反射（光）膜； 让部分光透射，部分光反射的薄膜称分光（色）膜； 让部分光透射，部分光截止不透过的薄膜称滤光膜； （分光膜和滤光膜，在膜系结构上会有相同，最大的区别是： 分光膜的透反光都在光路中有应用， 而滤光膜被滤掉的光不参与 后期的光路应用。） 起装饰作用的薄膜称装饰膜；（如七彩膜、彩虹膜等） 有特殊作用的薄膜称特种膜，如憎水膜、透明导电膜等。 在现代各类光学仪器、光电仪器、光通讯装备、光显示仪器 中，光学薄膜所起的作用是无可替代的。 在现代科学技术发展中， 光学薄膜的重要性不可忽视的。 上个世纪90年代上半期，中国大部分光学加工企业的真空 镀膜还只是在大批量生产单层减反膜、铝反光膜、金属分光膜， 有些企业能生产一些激光介质高反膜、介质分光膜、多层（二、 三层）减反膜、装饰膜等，高档的膜种大都在科研所、高等院校 开发和小批生产。 /上个世纪90年代下半期，望远镜红膜的兴起，相当多的光 学加工企业为加工此红膜购买了南光、北仪的国产多层镀膜机， 开始进入真正多层膜时代。而后，宽带多层减反膜的大量应用， 光通讯器件的普及加工，红外减反膜、红外截止膜的工厂化生产， 光引擎部件的工厂化生产， 进口高、中档镀膜机的引进，又进一 步促进了中国企业光学薄膜技术的水平提高。 随着多层膜的大批量、工厂化生产，有工程技术人员开机镀 制高档薄膜产品的工作，越来越多的有技术工人来完成了。 对操 作各种高、中、低档多层镀膜机的作业员来说， 其技术素质要求 也越来越高了。 光学零件镀膜后，改变了光在基片表面的光谱透、 反射性能， 从而满足使用要求。实现只有镀膜后才具有的性能。 以减反膜为例：K9光学玻璃的折射率nd为1.516，在未镀 膜时表面的剩余反射在 4.2%左右 Illi-nainarLt I 13HITEAngle; □. □ (degi) Illi-nainarLt I 13HITE Re f er ence: 550.0 (:m血) Substrate: K9Exit：Pie fleets uie* (4 ) vs tJavttlafiigtH (tm)Pol ar i e Substrate: K9 Exit： Pie fleets uie* (4 ) vs tJavttlafiigtH (tm) Firs乜 Sur .: Fr 基片折射率越高，造成的反射越大，若折射率 nd为1.91 , 那么不镀膜的基片表面反射达到： 10% Ang丄巳：0-0 (deg) Medium:: AIRSuLbstrate: ZF14Reference: 550. Medium:: AIR SuLbstrate: ZF14 P o1ar i sat i on: Ave Exitz ZF14QWKOE:1PEAL9- □4004S0500600650700750First; Suh f a^e 7 Exitz ZF14 QWKOE: 1PEAL 9- □ 400 4S0 500 600 650 700 750 Re fiectance ( J vs Wave 1 engftli (ituJ K9基片镀单层氟化镁减反膜后，剩余反射在中心波长处为 1.2%左右，使得局部可见光区域的透射光量增加 3%左右。除中 心波长区域外，其它光谱区域的减反效果要差一些。 11 11 Iwainant: T^HI T E He dLl tuu. 1 AIR Svd rt r at a; KS ￡x±e： K9 An^le : 0 a □ ( dLeof) Re * 530.0 (ruu Poi.atr九NwtAve Fir st Sujc f a.ce : F e out 镀以多层减反膜后的零件表面可使整个可见光区域的剩余 反射小于0.5%。 I HwaLnant: WHIT E An^le: 0 _ 0 (de g) K?-diwu; AIR P.?f ftrttnce: S10.0 (mu) Suhstrata: K9 Polar1zation: Ave Exit: K9 First Surfs匚启；Fuqtx 一个摄（投）影镜头的变焦镜头有 10片以上的镜片构成， 一般有近20个左右的面是与空气接触，考虑到摄影镜头采用的 镜片大都为高折射率玻璃材料，不镀膜的镜片表面剩余反射有的 高达8