电池片全工序基础工艺培训资料资料.docxVIP

培训资料 前道 一 制绒工艺 制绒目的 1.消除表面硅片有机物和金属杂质。 2.去处硅片表面机械损伤层。 3.在硅片表面形成表面组织，增加太阳光的吸收减少反射。 工艺流程 来料，开盒，检查，装片，称重，配液加液，制绒，甩干，制绒后称重，绒面检查，流出。 单晶制绒 号机 槽号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 作用 超声 溢流 制绒槽 超声 喷淋 溢流 柠檬酸 成份 / 纯水 NaOH+IPA+Na 2SiO 3 纯水 双氧水 + 氨水 配液 6 瓶 5 瓶+3 瓶+3 瓶 /25L+25L 补加 100-150g+1L 液 无 温度 90/60 60 80 常温 时间 300/600 200/500 1200s 300 300 400 号机 槽号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 作用 酸腐制绒槽 酸洗 溢流 酸洗 溢流 溢流 喷淋 成份 纯水 HCL 纯水 HF 纯水 配液 16L 12L 补 加 液 时间 440 420 400 400 200 400 200 200 300 甩干 喷水（ S） 喷氮（ S） 延时（ S） 压力 MPa 低速 /高速（ r/m） 温度 30 320 10 0.4～ 0.7 200/300 128 基本原理 1#超声 去除有机物和表面机械损伤层。 目前采用柠檬酸超声，和双氧水与氨水混合超声。 3#4#5#6#制绒 利用 NaOH 溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。当各向异性因子（ （ 100） 面与（ 111）面单晶硅腐蚀速率之比） =10 时，可以得到整齐均匀的金字塔形的角锥体组成 的绒面。绒面具有受光面积大，反射率低的特点。可以提高单晶硅太阳能电池的短路电流，从而提高太阳能电池的光转换效率。 化学反应方程式： Si+2NaOH+H 2O=Nasio 3+2H 2↑ 影响因素 1.温度 温度过高，首先就是 IPA 不好控制，温度一高， IPA 的挥发很快，气泡印就会随之出现，这样就大大减少了 PN 结的有效面积，反应加剧 ,还会出现片子的漂浮，造成碎片率的增加。可控程度：调节机器的设置，可以很好的调节温度。 2.时间 金字塔随时间的变化：金字塔逐渐冒出来；表面上基本被小金字塔覆盖，少数开始成长；金 字塔密布的绒面已经形成， 只是大小不均匀， 反射率也降到比较低的情况； 金字塔向外扩张兼并，体积逐渐膨胀，尺寸趋于均等，反射率略有下降。 可控程度：调节设备参数，可以精确的调节时间。 3.IPA 1.协助氢气的释放。 2.减弱 NaOH 溶液对硅片的腐蚀力度，调节各向因子。纯 NaOH 溶液在 高温下对原子排列比较稀疏的 100 晶面和比较致密的 111 晶面破坏比较大， 各个晶面被腐蚀 而消融， IPA 明显减弱 NaOH 的腐蚀强度，增加了腐蚀的各向异性，有利于金字塔的成形。 乙醇含量过高，碱溶液对硅溶液腐蚀能力变得很弱，各向异性因子又趋于 1。 可控程度： 根据首次配液的含量，及每次大约消耗的量， 来补充一定量的液体，控制精度不 高。 4.NaOH 形成金字塔绒面。 NaOH 浓度越高，金字塔体积越小，反应初期，金字塔成核密度近似不受 NaOH 浓度影响，碱溶液的腐蚀性随 NaOH 浓度变化比较显著，浓度高的 NaOH 溶液与硅 反映的速度加快，再反应一段时间后，金字塔体积更大。 NaOH 浓度超过一定界限时，各向 异性因子变小，绒面会越来越差，类似于抛光。 可控程度：与 IPA 类似，控制精度不高。 5.Na2SiO 3 SI 和 NaOH 反应生产的 Na2SiO3 和加入的 Na2SiO3 能起到缓冲剂的作用， 使反应不至于很剧 烈,变的平缓。 Na 2SiO 3 使反应有了更多的起点，生长出的金字塔更均匀，更小一点 Na2SiO3 多的时候要及时的排掉， Na2SiO3 导热性差，会影响反应 ,溶液的粘稠度也增加，容易形成水 纹、花蓝印和表面斑点。 可控程度：很难控制。 4#酸洗 HCL 去除硅片表面的金属杂质 盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与多种金属离子形成可溶与水的络合物。 6#酸洗 HF 去除硅片表面氧化层， SiO2+6HF=H 2[siF 6]+2H 2O。 控制点 1．减薄量 定义：硅片制绒前后的前后重量差。 控制范围 单晶 125，硅片厚度在 200± 25 微米以上， 减薄量在 0.5± 0.2g；硅片厚度在 200± 25 微米以上，减薄量在 0.4± 0.2g。 单晶 156，首篮减薄量在 0.7±0.2g ；以后减薄量在 0.6± 0.2g。 2．绒面 判断标准：成核密度高，大小适当，均匀。 控制范围：单晶：金字塔尺寸 3~10um。 3．外观 无缺口，斑点，裂纹，切割线，划痕，凹坑，有无白斑，赃污。 异常处理 问题 原