超光滑表面微小缺陷自动化检测方法研究.pdfVIP

摘 要 工 随 密加 制造 术的进 与 展 纳米级 面粗糙 为 征的超光滑 面在军 着精 技 步 发 ， 以 表 度 特 表 科 究等众多领域得到 十分广 泛的应 。 超 滑表面 件 面质量 定 件的 事、 学研 了 用 光 元 表 决 了 元 工 面 会直 低 件 甚至损害 亟 能， 而 缺陷 接降 元 性能 元件， 因此 需提出 能够满 超光滑 作性 表 足 质量 制要 的 检 方法。 表面 控 求 高效 测 表面 陷 微小 置随机 离散 检 术难 建 基 散 本文针对超光滑 缺 尺度 、 位 且 等 测技 点， 搭 了 于 － ａ ｍ Ｍ － ｎ 原理 的超光滑 面微小缺 自 动化检 统 （ Ｕｌｔｒ ｓ ｏｏｔｈ Ｓｕｒｆａｃｅ ｉ ｃｒｏ ｄｅｆｅｃｔ Ｄｅｔｅｃｔｉ ｏ 射 表 陷 测系 ｓ ｅｍ Ｍ 。 ： Ｓ ｔ ， ＵＳ ＤＳ） ， 并 检测系 中 用 的技术方法进 研 主要研究 下 ｙ  对 统 所应 行 究 内容如 ｉ ｅ 理 对超 表面缺陷散射 性进行 究 析。 借助 Ｍ 散射 论 向反射 布 光滑 特 研 分 和双 分 函数 ＢＲＤＦ 定性 究超 滑 面缺陷散射特 。 建立超 滑表面缺陷散射 型 基 有 研 光 表 性 光 模 ， 于时域 限 区 进 差 算法 缺陷 域远场散 特性 行 电磁场仿真计算， 并对影响缺陷散射特性的若干关 分 对 射 键 素进行 析 建立 了ＵＳＭＤＳ 系 统缺 检 及测量方法的理论基础。 因 分 ， 陷 测 Ｍ 对 ＵＳ ＤＳ 自动化调 方法进行研究。 构建 旋线 扫 检测模型 并基 扫描 系 统 控 螺 形 描 ， 于 方法