气湿敏传感器选编.ppt

1 第 9 章 气、湿敏传感器 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏电阻传感器 传感技术与信号处理 第 9 章 2 ? 教学提要（重难点）、课程内容、教学要求、 实验指导。 ? 本章重点介绍了气敏传感器、湿度传感器的 原理和应用。其中，气敏传感器是利用半导 体材料的特性来检测气体的成份或浓度。湿 度传感器也是利用一些材料的感湿特性来检 测湿度，如电阻、电容等。 ? 由于这些传感器的工作原理比较复杂，所以 要重点介绍传感器的特性以及应用，使学生 能够掌握利用这些传感器来检测相关的参量。 ? 在教学中应理论联系实际，这些传感器在日 常生活中使用较多，比如煤气报警器等。 3 9.1 气敏传感器 气敏传感器就是能够感知环境中某种气体 及其浓度的一种敏感器件，它将气体种类及其 与浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电 信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在 情况有关的信息，从而可以进行检测、监控、 报警；还可以通过接口电路与计算机组成自动 检测、控制和报警系统。 4 1. 气敏传感器的主要用途： 1). 有毒和可燃性气体检测 有毒和可燃性气体检测是气敏传感器最大的市场。主要应用于石 油、采矿、半导体工业等工矿企业以及家庭中环境检测和控制。在石 油、石化、采矿工业中，硫化氢、一氧化碳、氯气、甲烷和可燃的碳 氢化合物是主要检测气体。在半导体工业中最主要是检测磷、砷和硅 烷。家庭中主要是检测煤气和液化气的泄漏以及是否通风。 2). 燃烧控制 汽车工业是气体传感器又一重要市场。采用氧传感器检测和控制 发动机的空燃比，使燃烧过程最佳化。在大型工业锅炉燃烧过程中采 用带有气体传感器的控制以提高燃烧效率减少废气排出，节省能源。 气体传感器还可以用来检测汽车或烟囱中排出的废气量。这些废气包 括二氧化碳、二氧化硫和一氧化碳。 ? 目前按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。实 际使用最多的是半导体气敏传感器。 5 3). 食品和饮料加工 在食品和饮料加工过程中，二氧化硫传感器是极有 用的器件。二氧化硫常用于许多食品和饮料的保存和 检测，使之含有保持特定的味道和香味所需最小的二 氧化硫浓度。另外，气体传感器还被用来检测葡萄酒、 啤酒、高梁酒的发酵程度以保证产品均匀性和降低成 本。 4). 医疗诊断 可用气体传感器进行病人状况诊断测试，如口臭检 测，血液中二氧化碳和氧浓度检测等。 ? 目前按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体 两大类。实际使用最多的是半导体气敏传感器。 6 2. 气敏传感器的原理 ? 气敏传感器是由金属氧化物添加催化剂按一定比例烧结而成的 半导体材料，有 N 型和 P 型之分。 N 型气敏电阻的型号有 SnO 2 ( 氧化锡 ) ， ZnO( 氧化锌 ) ， TiO 2 ( 氧化钛 ) 等； P 型气敏电阻 的型号有 N i O ， Cu 2 O( 氧化铜 ) ， CrO( 氧化铬 ) ，等。气敏电阻最 主要的特点是对可燃性气体 ( 如 CO ， H 2 ， SO 2 ， H 2 S) 非常敏感。 当气敏电阻遇到此类可燃性气体时，由于可燃性气体易失去电 子，这些电子向半导体元件的气敏电阻移动，半导体中载流子 浓度变化 (N 型增加， P 型减小 ) ，从而使气敏电阻阻值变化 (N 型 阻值减小， P 型阻值增加 ) 。为了增加气敏电阻对气体的吸附作 用，常在气敏电阻工作时，加热到 (200 ～ 300) ℃。 ? 目前采用 SnO 2 半导体气敏电阻的 (TGS109 等 ) 型传感器 , 可以用 于各种可然性气体，并且有一系列优点，故应用最为广泛。 7 气敏电阻外形 酒精传感器 其他可燃性气体传感器 8 3. SnO 2 传感器的结构、特性及基本测量电路 ? SnO 2 由气敏部分、加热丝以及防爆网等构成，其特性 如图所示。 9 ? 基本测量电路包括两部分：气敏元件的加热回路和测试回路。其测试原理如 下： 0 ～ 10V 直流稳压电源与元件加热器组成加热回路，稳压电源供给器件 加热电压 U H ； 0 ～ 20V 直流稳压电源供给测试回路电压 Ue ，负载电阻 R L 兼做 取样电阻，从测量回路可得到： ? 式中， Rs 为气敏元件阻值； Ic 为回路电流。负载电阻 R L 上的压降为 U RL ，可 写成：