定义库位-For VAST XT DT and MT库位 (1).pdfVIP

定义库位：（探头为VAST 系列，库位MT ） 目的：标定库位位置用于自动存放探针。 要求：使用MasterProbe （主探针） 步骤1：安装库位架，安装库位。（库位架由ZEISS 工程师安装） 步骤2 ： 找到库位按钮点击进入 步骤3：定义主探针长度 确认当前探针为主探针后点击OK 用探针吸盘在库位表面打点，再用探针在库位表面打点。 一般为90 毫米左右 主探针长度 点击OK 完成长度定义。 步骤4 ：在库位界面增加新安装的库位 步骤5：定义新库位的位置 （先用鼠标点击你要定义的库位） 按照CMM 提示将主探针移动到被定义的库位定位孔上方5mm （大约）处后，点击OK 机器会自动定位。 步骤6：给探针分配库位 （定义好库位后，要告诉机器哪个探针放在哪个库位里） 点击OK 确认。 如果探针多了，可以再装新的库位，然后在以上程序中给系统添加一个库位。 添加后在按照以上步骤定义并分配即可。（建议在工程师的指导下现场操作一遍）