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2021/2/6 * 5.3.3 压电式加速度传感器 压缩式压电加速度传感器结构 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 测量原理 当传感器感受振动时,质量块感受与传感器基座相同的振动,并受到与加速度方向相反的惯性力的作用。这样,质量块就有一正比于加速度的交变力作用在压电片上。由于压电片压电效应,两个表面上就产生交变电荷,当振动频率远低于传感器的固有频率时,传感器的输出电荷(电压)与作用力成正比,亦即与试件的加速度成正比。 输出电量由传感器输出端引出,输入到前置放大器后就可以用普通的测量仪器测出试件的加速度,如在放大器中加进适当的积分电路,就可以测出试件的振动速度或位移。 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 5.3.4 压电式测力传感器 压电元件是直接把力转换为电荷的传感器。 变形方式:利用纵向压电效应的TE方式最简便。 材料选择:决定于所测力的量值大小,对测量误差提 出的要求、工作环境温度等各种因素。 晶片数目:通常是使用机械串联而电气并联的两片。 晶片电气并联两片,可以使传感器的电荷 输出灵敏度增大一倍。 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 单向压电式测力传感器 用于机床动态切削力的测量。 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 压电式压力传感器 测量均布压力的传感器 上一页 返 回 2021/2/6 * 拉紧的薄壁管对晶片提供预载力而感受外部压力的是由挠性材料做成的很薄的膜片。预载筒外的空腔可以连接冷却系统,以保证传感器工作在一定的环境温度条件下,避免因温度变化造成预载力变化引起的测量误差。 医术是一切技术中最美和最高尚的。 ------希波克拉底 专业分享●▂●敬请收藏 医术是一切技术中最美和最高尚的。 ------希波克拉底 专业分享●▂●敬请收藏 医术是一切技术中最美和最高尚的。 ------希波克拉底 专业分享●▂●敬请收藏 医术是一切技术中最美和最高尚的。 ------希波克拉底 专业分享●▂●敬请收藏 医术是一切技术中最美和最高尚的。 ------希波克拉底 专业分享●▂●敬请收藏 5.3 压电式传感器 5.3.1 压电式传感器的工作原理 5.3.2 等效电路及信号变换电路 5.3.3 压电式加速度传感器 5.3.4 压电式测力传感器 下一页 返 回 2021/2/6 * 5.3.1 压电式传感器的工作原理 电势型传感器 以压电效应为基础 压电效应可逆 “双向传感器” 正压电效应 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时,其表面上会产生电荷;若将外力去掉时,它们又重新回到不带电的状态,这种现象就称为正压电效应。 ( 加力 变形 产生电荷) 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上,如果加以交流电压,那么压电片能产生机械振动,即压电片在电极方向上有伸缩的现象,压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”,也叫做“逆压电效应”。(施加电场 电介质产生变形 应力 ) 常见的压电材料有石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。 2021/2/6 * 1. 石英晶体的压电效应 X轴:电轴或1轴; Y轴:机械轴或2轴; Z轴:光轴或3轴。 “纵向压电效应”:沿电轴(X轴)方向的力作用下产生电荷 “横向压电效应”:沿机械轴(Y轴)方向的力作用下产生电荷 在光轴(Z轴)方向时则不产生压电效应。 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 晶体切片 当沿电轴方向加作用力Fx时,则在与电轴垂直的平面上产生电荷 d11——压电系数(C/N) 作用力是沿着机械轴方向 电荷仍在与X轴垂直的平面 上一页 下一页 返 回 此时, 2021/2/6 * 切片上电荷的符号与受力方向的关系 图(a)是在X轴方向受压力, 图(b)是在X轴方向受拉力, 图(c)是在Y轴方向受压力, 图(d)是在Y轴方向受拉力。 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 石英晶体的压电效应 (a)正负电荷是互相平衡的,所以外部没有带电现象。 (b)在X轴方向压缩,表面A上呈现负电荷、B表面呈现正电荷。 (c)沿Y轴方向压缩,在A和B表面上分别呈现正电荷和负电荷 上一页 下一页 返 回 2021/2/6 * 石英晶体 一种天然晶体,压电系数d11=2.31×10-12C/N; 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点: 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频
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