真空泵，光伏为矛、半导体为盾，国产化大幕已开启.docxVIP

目录索引 一、真空泵：重要通用设备，半导体应用占据主要份额 6 二、半导体真空泵：百亿级产业，需求稳中向上 8 （一）应用在半导体制造多个工艺环节 8 （二）百亿级产业，存量市场奠定需求稳中向上 10 三、光伏真空泵：下游扩产积极，需求快速扩张 14 （一）光伏行业：碳中和目标下，需求确定性强 14 （二）真空泵：受益下游积极扩产，需求快速扩张 15 （三）国产替代正当时，有望持续深入 18 四、行业高度集中，龙头深耕真空领域 20 （一）全球半导体真空泵行业高度集中 20 （二）EDWARDS/ATLAS：真空领域绝对龙头，产品布局全面 20 （三）PFEIFFER VACUUM：涡轮分子泵开创者，致力于真空领域 24 （四）EBARA：日本百年企业，干式真空泵积累深厚 27 五、国产化大幕已开启，未来可期 29 （一）汉钟精机：螺杆泵龙头，充分受益光伏与半导体的扩产与国产化 30 （二）中科仪：国内涡旋泵龙头，技术积累深厚 32 （三）中科科仪：致力于分子泵、旋片泵，国家级高新技术企业 34 六、投资建议与风险提示 35 图表索引 图 1：真空泵类型 6 图 2：真空泵压力范围 6 图 3：ISVT 根据真空度的不同要求和应用领域将真空行业分为 8 个类别 8 图 4：2019 年全球真空市场构成 8 图 5：20 世纪 60 年代初期的真空钟罩 9 图 6：真空环境下的多腔集成设备布局 9 图 7：全球半导体设备额（亿美元） 11 图 8：全球真空泵需求构成（亿元） 12 图 9：近年太阳能电池组件价格与系统价格（元/W） 14 图 10：近年全球范围内光伏发电最低中标电价（美分/kWh) 14 图 11：近年全球与国内光伏发电新增装机（GW） 15 图 12：干式真空泵在光伏行业中的应用 15 图 13：近年太阳能电池电池片环节设备投资变化（亿元/GW） 18 图 14：捷佳伟创 PECVD 设备与扩散炉单价（万元/管）与毛利率情况 19 图 15：2019 年全球真空领域市场竞争格局（按收入计） 20 图 16：近年 Atlas 真空部门收入情况（百万美元） 21 图 17：近年 Atlas 真空部门营业利润（百万美元） 21 图 18：2019 年 Atlas 真空部门分区域收入情况 21 图 19：2019 年 Atlas 真空部门营业收入来源 21 图 20：2019 年 Atlas 各业务服务占比情况 22 图 21：Edwards 产品覆盖所有制程 23 图 22：Edwards 干泵能耗不断降低 23 图 23：Edwards 净利润（百万英镑）与毛利率 24 图 24：2012 年 Edwards 收入结构 24 图 25：Edwards 与 Atlas 真空业务收入（百万英镑） 24 图 26：Pfeiffer 半导体 CVD 过程产品系列 25 图 27：Pfeiffer Vacuum 收入与营业利润情况（百万美元） 26 图 28：Pfeiffer 营业收入拆分（按产品） 26 图 29：Pfeiffer 营业收入拆分（按应用领域） 26 图 30：Ebara 产品发展历程 27 图 31：Ebara 精密器械部门收入与营业利润情况（百万美元） 28 图 32：2019 年 Ebara 精密器械部门营业收入拆分（按下游行业） 28 图 33：2019 年 Ebara 精密器械部门营业收入拆分（按收入性质） 28 图 34：Edwards 相关真空泵及分子泵产品 30 图 35：汉钟精机真空产品收入（亿元）及毛利率 31 图 36：中科仪的真空干泵业务收入（百万元）及销量 32 图 37：中科科仪真空产品 35 表 1：气体传输泵具体分类 7 表 2：真空泵以及对应制程 10 表 3：全球半导体真空泵市场估计（亿元） 12 表 4：国内半导体真空泵市场规模（亿元） 13 表 5：干式真空泵在 PECVD 设备中的价值量占比 16 表 6：硅片环节扩展规模估计（GW） 16 表 7：硅片拉晶环节对真空泵的需求规模（亿元） 16 表 8：光伏领域对真空泵设备及服务的需求规模（亿元） 17 表 9：Atlas 真空技术部门收购收购情况 22 表 10：Pfeiffer 产品组合 25 表 11：国内外主要公司主流真空产品参数与工艺覆盖比较 29 表 12：公司半导体用真空泵产品 31 表 13：中科仪真空泵产品系列 33 表 14：中科仪 2019 年及 2020 年上半年主