第3章-电容式传感器.pptVIP

2021/3/26 * 带有等位环的平板电容 传感器结构原理图 均匀电场 1 2 3 3 边缘电场 等位环3与电极2在同一平面上并将电极2包围,且与电极2电绝缘但等电位,这就能使电极2的边缘电力线平直,电极1和2之间的电场基本均匀,而发散的边缘电场发生在等位环3外周,不影响传感器两极板间电场。 d S ε 2021/3/26 * 二、寄生与分布电容的影响 传感器除有极板间电容外,极板与周围物体（各种元件、连接导线、人体等）也产生电容联系,这种电容称为寄生电容。 寄生电容与传感器电容相并联,影响传感器灵敏度,而它的变化则为虚假信号影响仪器的精度,必须减小或消除它。可采用的方法有: （1）增加传感器初始电容值; （2）注意传感器的接地和屏蔽;（3）集成化; （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术; （5）采用运算放大器法;（6）整体屏蔽法。 2021/3/26 * （1）增加传感器初始电容值　　 采用减小极片或极筒间的间距(平板式间距为0.2—0.5mm,圆筒式间距为0.15mm),增加工作面积或工作长度来增加初始电容值,但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构等限制。一般电容值变化在 10-3—103 pF范围内,相对值变化在 10-6—1范围内。 平行板电容器 圆柱形电容器 L：内外圆柱相互覆盖部分的长度 r、R：内外圆柱的半径 2021/3/26 * （2）注意传感器的接地和屏蔽　　 图为采用接地屏蔽的圆筒形电容式传感器。图中可动极筒与连杆固定在一起随被测量移动。可动极筒与传感器的屏蔽壳（良导体）同为地,因此当可动极筒移动时,固定极筒与屏蔽壳之间的电容值将保持不变, 从而消除了由此产生的虚假信号。 引线电缆也必须屏蔽在传感器屏蔽壳内。为减小电缆电容的影响,应尽可能使用短而粗的电缆线,缩短传感器至电路前置级的距离。 绝缘体 屏蔽壳 固定极筒 可动极筒 连杆 导杆 接地屏蔽圆筒形电容式传感器示意图 2021/3/26 * （3）集成化　　 将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内,省去传感器的电缆引线。这样,寄生电容大为减小而且易固定不变,使仪器工作稳定。但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。 （4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术　　 当电容式传感器的电容值很小,而因某些原因(如环境温度较高),测量电路只能与传感器分开时,可采用“驱动电缆”技术。传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆,其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线)通过1:1放大器成为等电位,从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压,因此称为“驱动电缆”。采用这种技术可使电缆线长达10m之远也不影响仪器的性能,如图。 2021/3/26 * 外屏蔽层接大地或接仪器地,用来防止外界电场的干扰。内外屏蔽层之间的电容是1:1放大器的负载。对1:1放大器的要求很高:输入电容等于零、输入阻抗无穷大、放大倍数为1(准确度要求达1/10000)的同相(要求相移为零)放大器。在技术上实现比较困难。另外,当传感器电容很小或与放大器输入电容差不多大时,会引起较大的误差。因此,此线路适用于传感器电容较大的情况。 1：1 ＋ － 测量 电路 前置级 外屏蔽层 内屏蔽层 芯线 传感器 “驱动电缆”技术原理图 2021/3/26 * 另一种电路，如图所示，P58，图3-16。传感器电容两端电压为： 带入上式得 为实现电缆芯线与内屏蔽线等电位，则 即，等电位的条件为： 此线路适用于传感器电容较小的情况。 2021/3/26 * 防止和减小外界干扰 当外界干扰(如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。干扰信号足够大时,仪器无法正常工作。此外,接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号,也会给仪器带来误差和故障。防止和减小干扰的措施归纳为:??? 屏蔽和接地。传感器壳体;导线;传感器与测量电路前置级等等。 增加原始电容量,降低容抗。 导线和导线之间要离得远,线要尽可能短,最好成直角排列,若必须平行排列时,可采用同轴屏蔽电缆线。 尽可能一点接地,避免多点接地。地线要用粗的良导体或宽印制线。 采用差动式电容传感器,减小非线性误差,提高传感器灵敏度,减小寄生电容的影响和温度、湿度等误差。 2021/3/26 * 3.4 电容式传感器的应用 电容式传感器可用来测量直线位移、角位移、振动振幅,尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量。变极距型的适用于较小位移的测量,量程在0.01m至数百微米、精度可达0.01m、分辨率可达0.001m。变面积型的能测量量程为零