第5章+真空获得-机械真空泵.pptVIP

2021/3/26 * 使用 启动泵 一定的转向和转速 冷却 关泵 回油 放气 电磁阀 Great for pumping on air 2X-2（2L/s） ￥ 1500 维护费用低 防止水汽、杂物(尤其腐蚀性物质)进入泵油 2021/3/26 * 旋片泵小结 压强范围 大气压---10-3Torr 优点 可靠 价廉 抽大气 缺点 噪音 脏 油 大且重 2021/3/26 * 分 子 泵 2021/3/26 * 分子牵引 基本原理:动量传输 分子流条件下,碰撞运动表面的分子,离开表面时具有和运动表面速率u相近的切向速率 气体分子从具有运动的表面得到定向动量 2021/3/26 * 牵引分子泵-Gaede泵 λ h 特点: 分子平均速度越大,S越大 10000转/分 UB UL和气导相关,反比M1/2, M越大,S越大 优点: 启动时间短 容易抽重气体分子 缺点: 密封间隙太小(h0.1mm) 加工精度,机械故障 UCD: 从C迁移到D的气量 UB: 逆扩散(p1p2) UL: 缝隙漏率 UDC: 逆时针返流 2021/3/26 * 涡轮分子泵 轴向交错排列的转子和定子,转速16000-40000 叶轮很薄（3mm),单极压差很小,但数量很多（多级） 转子直径越大,要求叶片数量越多 倾角越小,压缩比越大,但抽速小 一般20度 单极压缩~5 开缝（间隙1mm) 具