二次离子质谱分析.pptxVIP

二次离子质谱(SIMS) Secondary Ion Mass Spectroscopy; ;质谱仪器一般具备以下几个部分：进样系统、离子源、质量分析器和检测器，除此之外，质谱仪需在高真空下进行工作（离子源：10-3 ?10-5 Pa ，质量分析器：10 -6 Pa），因此还有真空系统？;二次离子质谱分析;SIMS ? 基本工作原理 ;SIMS ? 入射离子与样品的相互作用 ;SIMS ? 入射离子与样品的相互作用 ;SIMS ? 二次离子质谱仪 ;SIMS ? 二次离子质谱仪 ;SIMS ? 二次离子质谱仪 ;SIMS ? 二次离子质谱仪 ;SIMS ? 二次离子质谱仪 ;SIMS ? 二次离子质谱仪 ;SIMS ? 主要功能 ;SIMS ? 主要功能 ;SIMS ? 主要功能 ;SIMS ? 主要功能 ;SIMS ? 主要功能 ;SIMS ? 主要特点 ;质谱仪器一般具备以下几个部分：进样系统、离子源、质量分析器和检测器，除此之外，质谱仪需在高真空下进行工作（离子源：10-3 ?10-5 Pa ，质量分析器：10 -6 Pa），因此还有真空系统？;SIMS ? 主要功能 ;SIMS ? 主要功能