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青岛科技大学 硕士学位论文 Mn、Co、Ni掺杂ZnO稀磁半导体的制备研究 姓名：姜迎静 申请学位级别：硕士 专业：材料物理与化学 指导教师：敬承斌Mn、Co、N Mn、Co、N i掺杂Zn0稀磁半导体的制备研究 摘要 本论文采用溶剂热法和溶胶．凝胶法合成Mn，Co，Ni掺杂的ZnO稀磁半导体 材料。实验中通过优化工艺参数，获得了一系列薄膜和粉体样品。论文中对试样的 晶体结构、形貌和磁性进行了表征，并探讨了样品的磁学和光学性质。 对乙酰乙酸乙酯修饰的溶剂热法制备过渡金属掺杂ZnO膜和粉体样品的工艺 条件进行大量的探索实验。XRD，SEM，EDS和XRF等分析表明，在180℃溶剂 热处理醋酸锌(浓度为0．25M)，尿素(沉淀剂)，乙酰乙酸乙酯(络合剂)，乙醇 和水的溶液5小时可以获得均匀性和结晶性都较好的ZnO膜和粉体试样。通过乙酰 乙酸乙酯与锌离子以及锰，钴和镍离子间的络合反应可以在上述溶剂热反应体系中 引入Mn，Co或Ni的乙酸盐或硫酸盐，并通过相同的工艺条件下可以获得Mn，Co 或Ni掺杂的ZnO膜和粉体材料。在上述溶液体系中，引入聚乙烯砒咯烷酮可以获 得稳定透明且具有适中粘度的Mn，Co或Ni掺杂的ZnO溶胶。由这些溶胶体系通 过旋涂工艺能制备出致密均匀的Mn，Co或Ni掺杂的ZnO薄膜样品。聚乙烯砒咯 烷酮发挥了调节粘度、稳定溶胶和减少薄膜丌裂的重要作用。 X射线衍射谱和拉曼光谱分析表明，在掺杂浓度较低时，Mn，Co，Ni等过渡 金属掺杂ZnO薄膜是单一相的。这些过渡金属掺杂原子成功地占据了ZnO晶格中 的Zn位，实现了替位式掺杂而且没有改变ZnO的纤锌矿结构。然而，在高掺杂浓 度的样品中出现复相结构，掺杂浓度大于等于10％的Mn掺杂ZnO中出现了ZnMnOa 相；在掺杂浓度达到5％的Co掺杂ZnO中则出现7(Zno．09C02．01)04杂质相；在掺杂 浓度达到10％的Ni掺杂ZnO中则出现了Nio．7Zno．30杂质相。扫描电镜和高分辨透 射电镜测试表明，Mn、Co或Ni掺杂ZnO样品由纳米颗粒组成。 光致发光测试结果表明Mn掺杂ZnO样品中，存在中心位于380rim(3．26 eV) 附近的紫外发光峰，并且随着Mn掺杂浓度的增加，紫光发射峰的位置向短波方向 有轻微的移动。通过磁性能测试发现，在ZnO中掺杂不同量、不同元素时制得的试 样具有不同的磁性质。掺杂浓度小于等于5％的Mn或Co掺杂ZnO，掺杂浓度达到 10％的Ni掺杂ZnO都具有室温(300K)铁磁性。结构和成分测试分析的结果表明 这些样品中发现的铁磁性可能来源于过渡金属掺杂原子溶入ZnO晶格之后产生的 本征属性以及某些未知的纳米相。 关键词：稀磁半导体ZnO溶剂热法溶胶．凝胶法晶相结构磁性 青岛科技大学研究生学位论文SYNTHESIS 青岛科技大学研究生学位论文 SYNTHESIS OF Mn，Co OR Ni DOPED ZnO DILUTED MAGNETIC SEMICONDUCTORS AB STRACT This work focuses on synthesis of Mn，Co or Ni doped ZnO diluted magnetic serniconductors(DMS)through a solvothermal method and a sol-gel method．Mn，Co or Ni doped ZnO film and powder samples were obtained by optimizing fabrication conditions．The crystalline structures，morphology and magnetic properties of the 嬲-synthesized products were characterized．The magnetic as well as optical properties of the samples are discussed． A great deal of researeh work has been done to develop all ethylacetoacetate(EAcAc) modified solvothermal process for synthesis of transition metal doped ZnO film and powder samples．XRD，SEM，EDS and XRF analyses disclose that homogeneous and well crystallized ZnO film and powder products could be