第5章电容式分析测量电路.pptVIP

脉冲宽度调制电路电压波形 在变极板距离的情况下 d1、d2分别为Cx1、Cx2极板间距离。 当差动电容Cx1=Cx2=C0， 即d1=d2=d0，Uo=0； 若Cx1≠Cx2， 设Cx1 Cx2 ，即d1=d0－Δd, d2=d0+Δd, 则有 同样，在变面积电容传感器中， 差动脉宽调制电路的适用范围： 适用于变极板距离以及变面积差动式电容传感器。 差动脉宽调制电路的优点： 线性输出， 转换效率高， 经过低通放大器就有较大的直流输出， 调宽频率的变化对输出没有影响。 5.5 电容式传感器的应用 5.5.1 电容式压力传感器 5.5.2 电容式加速度传感器 5.5.3 差动式电容测厚传感器 5.5.1 电容式压力传感器 差动式电容压力传感器结构图 膜片为动电极，两个在凹形玻璃上的金属镀层为固定电极，构成差动电容器。 当被测压力或压力差作用于膜片