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镀膜真空术语全集（中英文对照）
5.分压真空计（分压分析器）
5-1.射频质谱仪 radio frequency mass spectrometer：
5-2.四极质谱仪（四级滤质器） quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer ：
5-3.单极质谱仪 momopole mass spectrometer：
5-4.双聚焦质谱仪 double focusing mass spectrometer：
5-5.磁偏转质谱仪 magnetic deflection mass spectrometer：
5-6.余摆线聚焦质谱仪 trochoidal focusing mass spectrometer：
5-7.回旋质谱仪 omegatron mass spectrometer：
5-8.飞行时间质谱仪 time of flight mass spectrometer：
6.真空计校准
6-1.标准真空计 reference gauges：
6-2.校准系统 system of calibration ：
6-3.校准系数 K calibration coefficient ：
6-4.压缩计法 meleod gauge method ：
6-5.膨胀法 expansion method：
6-6.流导法 flow method：
4. 1.真空系统 vacuum system
1-1.真空机组 pump system：
1-2.有油真空机组 pump system used oil ：
1-3.无油真空机组 oil free pump system
1-4.连续处理真空 设备 continuous treatment vacuum plant ：
1-5.闸门式真空系统 vacuum system with an air-lock ：
1-6.压差真空系统 differentially pumped vacuum system：
1-7.进气系统 gas admittance system：
2.真空系统特性参量
2-1.抽气装置的抽速 volume flow rate of a pumping unit ：
2-2.抽气装置的抽气量 throughput of a pumping unit ：
2-3.真空系统的放气速率 degassing(outgassing) throughput of a vacuum system：
2-4.真空系统的漏气速率 leak throughput of a vacuum system：
2-5.真空容器的升压速率 rate of pressure rise of a vacuum chamber：
2-6.极限压力 ultimate pressure：
2-7.残余压力 residual pressure：
2-8.残余气体谱 residual gas spectrum：
2-9.基础压力 base pressure：
2-10.工作压力 working pressure：
2-11.粗抽时间 roughing time ：
2-12.抽气时间 pump-down time ：
2-13.真空系统时间常数 time constant of a vacuum system：
2-14.真空系统进气时间 venting time ：
3.真空容器
3-1.真空容器；真空室 vacuum chamber：
3-2.封离真空装置 sealed vacuum device ：
3-3.真空钟罩 vacuum bell jar ：
3-4.真空容器底板 vacuum base plate：
3-5.真空岐管 vacuum manifold ：
3-6.前级真空容器（贮气罐） backing reservoir：
3-7.真空保护层 outer
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