报告资料讲薄膜材料物理三章金属薄膜的导电.pptVIP

式中：N是岛 状薄膜单位面积内小岛数目， 是活化能。即是将一个电子从一个 中性小岛移到另一个中性小岛所需要的能量。设每个小岛的体积为4/3πa3, 则岛状薄膜总体积为： ;相邻两岛的中心距离为;结论：小岛线度a↓→载流子密度na↑→σa↑→R口↓ 岛间距离d↑→ σa ↓ （∵指数衰减比d2增加快） 关于岛状薄膜电导理论： 还有允许态间隧道理论… 通过基片的隧道理论…;§3.2 外因对岛状薄膜电导的影响 外因：温度、频率、应力 §3.2.1 温度的影响 薄膜电阻温度系数 ; （注：假设薄膜尺寸不变）;而活化能;§3.2.2 岛状薄膜的高频特性 ;在高频下，C0对rs有旁路作用，从而使薄膜的高频 电阻减小。 在高温下，岛间的热电子发射加剧→ rs ↓ ;§3.3 网状薄膜的电导 网状薄膜的电导是由金属小岛、金属接触点或者 金属细丝以及岛间空隙的电导所构成。 接触膜电阻：岛间电阻＞＞接触电阻＞＞小岛本身电阻 丝状膜电阻：除了电子在薄膜的两个平行面上散射外， 还受到细丝的整个周界的严重散射;§3.3.1 接触膜的电导;两个电板间的电位差;若在岛状薄膜