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洁净室设备概述 主讲人：徐仁春 1 1 空氣浴塵機 2 緩衝室 3 傳遞箱 4 衣架及鞋櫃 5 洗手台及烘乾機 6 沖身洗眼機 無塵室設備 2 潔淨廠房空間組成分析圖 人員 物料 人員淨化用室 1.緩衝室 2.衣櫃及鞋櫃 3.洗手烘乾機 4.三叉管制機... 空氣浴塵室A/S 氣閘室A/L 傳遞箱P/B 物料淨化化用室 空調機房 輔助室 1.鍋爐機房 2.超純水站 3.空氣壓縮機房 4.真空幫浦室 5.變電/配電站... 化學區- 沖身洗眼機 潔淨室 一般區 垂直管線間/ 水平夾層 3 空氣浴塵室 (AIR SHOWER) 為作業者或物 品進入 CLEAN ROOM 時，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃之功能。 空氣浴塵室 (AIR SHOWER)同時具有 AIR LOCK 氣鎖功能可以有效控制人員進出作用，並作為不同等級清淨室的緩衝室，達到防止交叉污染產生。 2.1 空氣浴塵機 4 2. 法規需求—無 3. 用途與分類 用途 使用於跨越不同潔淨等級區域使用 分類 1.單座式A/S 2.隧道式A/S 3.階梯隧道式A/S 門扇又可分為 手拉門式A/S 自動門式A/S 2.1 空氣浴塵機 5 4. 結構說明 2.1 空氣浴塵機 6 1. 前置過濾網(PRE-FILTER) 將尼