京运通指导书.docxVIP

■ I 真空泵的清理及泵油更换 适用范围 适用于真空泵的清扫及泵油更换作业 作业顺序 1/30 1放油 1准备好专用工具及纸巾置于就近位置 2关闭主泵球阀 3将废油桶置于真空泵放油口下方，打开上腔放油开关，取下泵尾气管。 4堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀，使之缓慢进气进行快速放油，废油倒入指定油池。 5放完油后关闭上下腔放油阀，关闭真空泵，断开真空泵对应的空气开关。 注意事项及原由 1确认关闭真空泵是否关闭到位，否则会造成炉内返气。 2放油时应靠下拉放油阀，调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，使油 烟外泄扩散到泵房。 3切记关闭上下腔的放油阀，防止漏油。 4处理废汕时注意泵房卫生。 5断开其空泵控制开关并在操作柜挂上警示牌，防止他人不慎触动真空泵开启按钮，造成 人身伤害。 6出现异常立刻处理，并报告班长或主任。 2清泵 1用工典打开真空泵侧盖，置于适当位置。 2用纸巾彻底清理真空泵腔，及侧盖的汕污。 3清扫完毕，安装好滤网，然后安装好侧盖。 注意事项及原因 1侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封造成漏油。 2 70泵切记安装滤网，100泵喷汕管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态。 3泵腔内禁止遗留纸屑或其他杲物，否则会造成汕路的堵塞，导致真空泵卡死。 4清理真空泵的废弃物放入指定垃圾捕。 5出现异常立刻处理，并报告班长或主任。 3注油 1打开真空泵注汕口。 2将加汕管放入其空泵注汕孔。 3开启加汕泵开始注汕。 4观察真空泵汕位至汕位观察窗1/2位置。 5关闭注油泵，取下注油管，移到适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放 油。 6装上尾气管，关闭注汕口。 7开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗 1/3……1/2位置,若低于下限重复以上操作。 注意事项及原由 1注汕管保持清洁，防止异物进入泵腔。 2注汕时，注意注汕管掉落，且不要超过上限汕位以防喷汕。 3切记安装好尾气管及注油孔，以防开泵时喷油或油气污染泵房。 4注意清理真空泵及周围卫生。 5出现异常立刻处理，并报告班长或主任。 工序名称适用范围 作业顺序| 2/30 单晶棒的取出拉晶过程中单晶棒的取出 1作业准备 1准备好手套、耐高温手套、纸巾。 2准备好斜11钳、取晶架和小车。 3用湿纸巾将炉体从上到下擦拭-遍。 注意事项及原由 1所需物品必须准备齐全而且洁净，就近摆放，以减少不必耍的时间浪费。 2取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，有利于整体环境，防止交叉污染。 3彻底清扫炉体时注意不要将控制接线及开关碰断或碰坏。 2单晶取出 1单晶班冷却完毕片，关闭Ai■气，同时升起单晶棒至副室，从副室观察窗确认单晶棒升至 所需咼o 2待炉内压力达到极限后关闭主室球阀，然后关闭真空泵电源，立即进行测漏并，做好相 应记录。 3若无杲常，冲Ar气至常压，盖住翻板或旋板，打开液压泵，升起副室。 4缓慢转动副室至侧而，戴好隔热手套，轻轻按住单晶棒尾端，不使晶棒晃动，同时把安 全接盘移到炉筒口处。 5把放有収晶架的小年放在副室炉筒正下方，准备接单晶棒。 6稳定单晶棒，移开安全接盘，按下［晶快降］,将单晶棒降入小车上的取晶架内。 7确认单品棒完全放入取晶架内后，按住籽品，用钳子将籽品从细径处夹断，将籽品从重 锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。 8将单晶棒放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒上，转入《石墨件的取 出》工序。 注意事项及原由 1单晶棒在移动吋，必须放入防眺盘。 2泄露率＜0.67pa/min为正常，否则有关人员处理并报告班长或主任。 3升副室前必须确认炉内压力正常，翻板或旋板必须盖住，防止单晶棒坠落 4缓慢转动副室，防止单晶棒与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶 棒坠落。 5取品架应与单品棒垂直对齐，防止单品棒突然脱落。 6夹断籽晶后，应稳定垂锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。（重锤温度高，不可川手直 接接触） 7取籽品时应慎重作业，防止损坏籽品。 8单晶棒取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号。 工序名称 石墨件的取出 适用范围 适用于每炉石墨件及残骸的取出，及大清炉时整个热场的取出 作业顺序3/30 1取出导流筒及 大盖 2取出残骸 1准备好不锈钢小车。 2戴好手套及耐高温手套。 3按顺序取出保温盖及导流筒。 4取出的石墨件放在不锈钢台平车上。 1准备好耐髙温手套、钳了、不锈钢筒。 2用钳子夹住石英Jtf璃的上端部分提起，使其松动。 3戴好耐高温手套将右英圳堀取出，若堀体能将圳底料全部带出，直接放入不锈钢筒。若 不能则将右英坯圳残骸放到车间指定的区域，剩下的圳底料随三瓣期一并IRlIlo若出现 闷炉等意外情况，可将石英堆期及原料一起取出，或者戴上耐高温手套用钳子