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- 2021-06-30 发布于湖北
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第6章 二极管与外围器件
【习题答案】
1.在标准CMOS集成电路制造工艺下,二极管主要包括(衬底二极管)和(阱二极管)两种。
2.请画出标准CMOS工艺的环状结构二极管的版图示意图。
答:
图 环状结构衬底二极管示意图
图 环状结构阱二极管示意图
3.请解释衬底二极管和阱二极管在集成电路中作用的区别。
答:衬底二极管与阱二极管制作的方法不同,二者的作用也不相同。以CMOS P型衬底N阱工艺为例,由于P型衬底必须接电路的最低电位,才能保证整个芯片上电路的正常工作,因此衬底二极管只能应用于ESD保护中输入到负电源的保护通路。而阱二极管制作在N阱里,对于N阱工艺,N阱可以接最高电位,也可不接最高电位。如果接最高电位,将形成ESD保护中的输入到正电源的保护通路。如果不接最高电位,则可将其应用于一般电路中。
4.请分析静电放电对MOS集成电路的损坏。
答:当一高电势的带电体接触到电路的外引脚时,静电放电(ESD)现象就会发生。由于MOS器件的栅极下面存在二氧化硅层,所以具有极高的绝缘电阻。当在栅极发生静电放电而栅极又处于浮置状态时,静电感应的电荷无法很快地泄放掉,而该氧化层又非常薄,静电感应电荷使得栅极与衬底之间会产生非常高的电场,一旦该电场强度超过栅极氧化层的击穿电压,则会发生栅极击穿导致MOS器件损坏。栅极氧化层被击穿后,栅极与沟道之间的电阻变得很低,而且栅极失去了对沟道电流的
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