北大半导体器件物理课件第四章8薄膜场效应晶体管TFT.pdfVIP

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2021-07-10 发布于湖北
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半导体器件物理薄膜场效应晶体管TFT • TFT是Thin Film Transistor 的缩写 • 目前在平面显示产品中广泛应用，作为驱动电路的主要器件 • 可以制备在玻璃甚至有机塑料衬底上 • 常见的有多晶硅TFT 和非晶硅TFT 半导体器件物理透明晶体管 • 眼镜上的电视屏幕？ • 汽车挡风玻璃上的地图？ – 全透明的集成电路 – 是特殊的薄膜晶体管半导体器件物理非晶硅的能带 • 在导带和价带之间有许多缺陷态半导体器件物理非晶硅TFT结构半导体器件物理非晶硅TFT结构 • 栅压会引起表面能带弯曲 • 在表面会感应电荷，一部分位于导带中，一部分位于陷阱态上半导体器件物理 TFT 的电流方程 • 主要考虑漂移电流 dV I =−μZQ c c dy • 用等效迁移率，将电流写成与总感应电荷的关系 dV I =−μd ZQs dy 半导体器件物理 TFT 的电流方程 • Q (y)和沟道电压关系 S Q y Q =−C V y S ( ) S 0 I ( ) • TFT 电流 Z V DS I =− μ Q dV L ∫0 d s 半导体器件物理 TFT 的电流方程 • 等效迁移率与总感应电荷之间的关系 Q V ( ) c G μ μ d c Q V ( ) S 0 G • 关键求Q (V )和Q (V ) C G S