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《平面显示用高纯铜旋转管靶》国家标准编制说明 标准编制组 二〇一七年九月 平面显示用高纯铜旋转管靶编制说明 工作简况 任务来源 高纯金属溅射靶材使用量巨大， 其质量的好坏对薄膜材料的性能起着至关重要的决定作用。 2014 年世界高纯溅射靶材市场的年销售额约 85.7 亿美元。据预测，未来 5 年，世界溅射靶材的市场规模将超过 160 亿美元，市场规模年复合增长率可达到 13%。然而，目前半导体行业所需的高端超高纯金属靶材几乎全部为美国、日本及德国所垄断，这些国家的靶材生产企业从金属材料的高纯化制备 到靶材制造生产具备了完备的技术垂直整合能力，控制着全球高端靶材的主要市场。 国内靶材生产企业在高纯化、微观组织控制、精细化深加工等关键技术方面落后于国外靶材生产企业。国内高纯金属靶材产业的发展壮大不仅能极大地带动我国上游传统有色金属材料产业结构升级，更能促进下游电子制造产业的技术进步和稳定快速发展。 靶材类型平面靶材旋转靶材利用率 靶材类型 平面靶材 旋转靶材 利用率 30% 80% 回收率 70% 70% 总使用效率 21% 56% 对于旋转靶材来说， 目前旋转靶材在国内靶材市场占有率仅为 10%，在国际市场也仅有 20%占有 率，平面靶材占绝大多数。旋转靶材用户目前国内有熊猫电子、京东方、苏州三星、华星光电，国 际上有三星、 LG 等知名企业，市场前景巨大。对于平面靶材来说，由于较低的利用率，在 8.5 代线 之后，利用率较高的旋转靶材将会逐渐替代平面靶材，旋转靶材市场份额会逐渐提升，预计可达到 40%左右，具有广阔的提升空间。 公司 地点 世代 采用技术 产能（千片 / 月） 产线建设情况 京东方 合肥 8.5 Ⅱ a-Si 30 量产 8.5 Ⅲ a-Si 30 合肥 10.5 / 120 2017 年 南京 8.5 IGZO 120 2018 年 中电熊猫 咸阳 8.5 IGZO 120 2017 年 华星光电 深圳 8.5 a-Si 120 2016 年 SAMSUNG 苏州 8.5 a-Si 110 量产 目前国内平面显示用高纯铜旋转管靶的生产处于初级阶段，还没有相应的国家标准，很大程度上制约了国内平面显示用高纯铜旋转管靶的研发、制作及工业化生产。因此，需要制定相关的标准， 以促进现有产品质量的提高，确保平面显示用高纯铜旋转管靶的检测规范统一，符合统一标准。 根据下达本标准的制定任务，主管部门为中国有色金属工业协会，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，主要起草单位为有研亿金新材料有限公司。 有研亿金新材料有限公司接到标准制定任务后，根据任务落实会的会议精神，组建溅射靶材与背板结合强度试验标准规范起草小组，主要进行如下工作： （ 1）确立《平面显示用高纯铜旋转管靶》行业标准起草遵循的基本原则； （ 2）对靶材制造商、加工工艺研究及测试机构、用户要求进行调研、收集资料； （ 3）查阅相关标准； （ 4）确定主要技术内容； 起草单位 有研亿金新材料有限公司，简称有研亿金， 2014 年 1 月由“有研亿金新材料股份有限公司”更名为“有研亿金新材料有限公司”，隶属于北京有色金属研究总院。有研亿金属于中关村科技园高 新技术企业、 “十百千工程” 重点培育企业，拥有北京市企业技术中心 , 2012 年公司被评定为“国家级科技创新型示范企业”。公司是中国半导体行业协会支撑分会理事单位、中关村集成电路产业 联盟理事单位、上海黄金交易所综合类会员、中国有色金属学会贵金属学委会副主任单位、全国有色金属标委会贵金属分标委会副主任单位、全国外科植入物和矫形器械标委会标委、北京医药行业 协会和中国医疗器械行业协会手术器械专业委员会理事单位。 经过 10 多年的发展， 有研亿金已成为具备一定产业规模、在半导体和医疗器械行业内具有良好影响力的快速成长性企业。有研亿金拥有 30 多年专业从事稀有和贵金属材料研究、开发和生产经验，获得并积累了一大批国家和部级科研成果，培养造就了大批科研、生产人才。有研亿金是国内率先开展旋转铜靶研究开发的单位，在集成电路用超纯金属制备加工领域具有国内领先的优势。多年来，有研亿金利用具有自主知识产权的高 性能金属材料制备技术， 开发了独具特色的集成电路产品， 产品涉及各种材料 Al 、Cu、Ti 及其合金， 各种难熔金属等，形成了具有年产值近亿元的产业基地，如先进镀膜用半导体材料、光学材料、稀土材料、集成电路相关材料等，具备一大批对超金属材料制备加工技术具有较坚实理论基础和丰富实践经验的专家和技术人员。有研亿金历年承担国家军工配套项目和军工新产品试制项目近百项， 获部级奖 56 项，国家专利 38 项，国家科技进步奖 3 项，国家发明奖 9 项，全国科学大会奖 2 项， 国家科技进步奖特等奖子项奖 1 项。