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PAGE 深紫外非线性光学材料研究前景 1、介绍 深紫外相干光是指低于200nm的相干光。在很多科研设装备和前沿科学研究中具有重要意义。例如：集成电路193 nm光刻技术，微纳精细加工技术，超高能量分辨率光电子能谱仪和光电子发射显微镜等先进科学仪器，以及化学反应动力学等基础研究，都对深紫外(一般指波长短于200 nm)相干光源有着强烈需求。通过深紫外非线性光学晶体进行多级变频技术，是获得深紫外相干光的重要手段。其核心研究内容是发展合适的深紫外非线性光学晶体。 非线性效应，即激光的场强很大时，入射到一块非线性光学晶体中会产生二倍频、三倍频等谐波。要得到加强的倍频光，通俗来说就是要让基频光和倍频光“合拍”，亦即在晶体中某个方向上的传播速度大小一样，这个方向叫相位匹配方向，这种情形下基频光会不断地转化为倍频光。由于光的色散现象，频率不同的光在介质中传播速度不同，频率越高的光在介质中传播速度越小。由于基频光和倍频光频率相差一倍，为使得其在晶体中传播速度一致，需要晶体具有各向异性。即晶体需要具有一定的双折射。当双折射率大到一定程度，时就完全可能弥补色散导致的基频光和倍频光的传播速度差。因此，如果我们想通过非线性光学晶体倍频输出深紫外激光，从光学性能来说，该晶体一般要求满足下述两个基本条件： (1)晶体的透光范围要宽。在紫外波段具有良好的透过性能是深紫外非线性光学晶体的前提条件。紫外波段的截止波长要达到150 nm 左右(截止波长是指晶体在紫外区域透过率为零时的波长)。显然材料本身必须是无色的。这就排除了某些具有d-d或f-f跃迁的过渡金属以及镧系金属原子。 (2)必须具有大的双折射率，从而能实现在紫外短波段的相位匹配，一般要求Δn＞0.07。对于立方晶系，缺少双折射，不可能实现相位匹配。对于非立方的晶体，由于折射率的曲线在紫外区域色散很陡，因此至少需要0。07的双折射才能补偿色散。然而太大的双折射又会导致严重的走离角和自聚焦效应，从而影响能量转换效率。 同时满足这两个条件对非线性光学晶体很不容易。例如，上世纪70—80 年代以来发现的一系列著名的非线性光学晶体KDP(KH2PO4) ADDIN EN.CITE EndNoteCiteAuthorZaccaro/AuthorYear2014/YearRecNum3098/RecNumDisplayText[1]/DisplayTextrecordrec-number3098/rec-numberforeign-keyskey app=EN db-id=2twdpvtd495fxqe9rpc5tfatxse2w2s2px0e timestamp=14884457153098/key/foreign-keysref-type name=Journal Article17/ref-typecontributorsauthorsauthorZaccaro, Julien/authorauthorDebray, Jér?me/authorauthorDouillet, Sabine/authorauthorIbanez, Alain/author/authors/contributorstitlestitleOrigin of Crazing in Deuterated KDP Crystals/titlesecondary-titleCrystal Growth amp; Design/secondary-title/titlesperiodicalfull-titleCrystal Growth amp; Design/full-title/periodicalpages6581-6588/pagesvolume14/volumenumber12/numberdatesyear2014/year/datesisbn1528-7483#xD;1528-7505/isbnwork-typeKDP/work-typeurls/urlselectronic-resource-num10.1021/cg501491x/electronic-resource-num/record/Cite/EndNote[1]、LiNbO3，LBO(LiB3O5) ADDIN EN.CITE EndNoteCiteAuthorHu/AuthorYear2011/YearRecNum2508/RecNumDisplayText[2]/DisplayTextrecordrec-number2508/rec-numberforeign-keyskey app=EN db-id=2twdpvtd495fxqe9rpc5tfatxse2w2s2px0e timestamp=14873364822508/key/forei