制程能力及管控重点测试方法培训.pptxVIP

MAS制程能力及管控重点测试方法培训教材;内容;制程;制程;制程;制程;制程;二．测试方法;2、内层次外层防焊曝光能量均匀性测试方法 1) 将曝光机切换到手动模式Manual； 2) 选择“上灯”界面； 3) 点击“开/关SHUTTER”； 4) 选用能量测试仪盒内感应探头“ZG429(湿膜）ZG197(干膜) ”； 5) 将探头玻璃面朝上，将玻璃下压到合适高度，关闭门窗； 6) 点击能量测量仪上的“ZERO”校零； 7) 当测量仪界面由“ZEROING”变为“SIGNAL”后，点击“INFEGRATE”， 当界面上出现“HI INTEG”时转动曝光机上“START”开始测量，当 数值不再累加时记录数据； 8) 将探头再换一个位置重复5-7的动作； 9) 下灯测量方法同上灯(只是探头玻璃朝下，上玻璃不用下压)； 10) 上下灯各平均取25个点； ;;3、内层次外层外层防焊曝光机的对位精度测试方法 1）准备四片板厚0.1mmH/H的内层光板，钻短边的4颗对位孔； 2）前处理和压膜按照正常程序生产，不需做变动； 3）架对位精度测试底片； 4）对位OK后，放上钢条输入相应的板宽板厚； 5）打设备到自动状态； 6）将用测试底片做出的4片板子拿到二次元，取坐标原点如下图1 所示，量取实心圆的圆心与环的圆心之间的距离，每个测试区 域量4个角上的圆心和环心距； ;;4、内层次外层外层防焊显影点测量方法 1）取三片生产板尺寸的板子走前处理，在板面上画若干条与板子行进 方向一致的直线，并涂膜（或压膜）后，走显影槽； 2) 把3片板子连续放进显影槽,板间距小于1cm; 3) 当第2片板子上的直线的痕迹有一半消失的时候,停下显影槽所有的药 水喷洒; 4）目视板子在槽中行走的位置及油墨（或干膜）去除状况； 5）开启传动,将dummy板全部取出,与槽子相比较,确认直线的断头处与 槽子的相对位置； 6）判定标准：显影点=显影断头处长度/显影总长度 * 100%≤（40-60%）. 7）超出规格，由ME通过调整上下喷压，速度等调整显影点； 8）测试频率：每周一次。;5、内层次外层外层蚀刻均匀性测试方法 1)　用2OZ底铜的基板经刷磨后，测量表面铜厚H0（如下图） 2) 在板上注明 : 方向及面次； 3)　将测试板在蚀刻线蚀刻铜厚约20-30UM，测量其残铜厚H1(如下图）;4）计算： 　 a. 蚀刻铜量H=H0-H1 b. 计算测试板上下两面蚀刻铜量的平均值 ;6、内层次外层蚀刻因子实验方法 1）取生产板做切片； 2）记录生产数据上压 (bar)；下压 (bar)；速度 (M/Min)； 3）切4/4线宽/线距的线50倍放大量测； 4）判定标准: 线路铜厚*2/(下线宽-上线宽) ≥3； 5）小于3时需由ME针对上下压力和速度进行调整； 6）测试频率：每月一次。;7、冲孔孔径孔位精度校验的方法 1）用3张生产板，以板边的四个Target点对位冲孔后，二次元测量 要素如下: a.确定板子的中心O，定为坐标原点； b.测量四个方孔的宽度； c.测量四个圆孔的坐标； 2) 判定标准: a. 将3张板子对应的圆孔坐标进行比较, 如果最大值与最小值的偏 差在±0.0254mm内则圆孔的重复精度ok； b. 将3张板子方孔的宽度与标准值进行比较, 如果最大值与最小值 的偏差在±0.0254mm内则方孔模具ok；;8、热压机的温度测试方法 1）叠生产板时将料温仪两根热电偶线的一端接入铜箔之间，用高温胶 带粘好； 2）整锅板子叠完后，送进热压机前将两根热电偶线的另一端拖出压仓 外，并按照接线的要 求，接入料温仪的三、四两个端子； 3）打开料温仪上的”Power”键，接着按”Feed”键，确认三、四两个端 子是否显示正常室温，若温度异常，则重新检查接线状况； 4）上述全部确认OK后，则按料温仪上的”RCD” ，激活热压程序， 料温仪会自动记录温度； 5）当一锅板子压完后分析料温仪自动记录的温度与压机的显示温度是 否一致； 6）标准：偏差值 ±3℃； 7）如果结果不在控制范围内，开设备请修单给设备调整； 8）频率：每季度一次。 ;9、压力均匀性测量方法 1）选一锅压合好的板子自然冷却到室温(25℃以下) ； 2）在BOOK最上镜板的上放感压纸，再放好镜板和牛皮纸,并放上盖板. 3）选固定的压机测试程序(根据感压纸的使用说明，在