晶圆切割站培训资料PPT课件.pptVIP

晶圆切割站学习手册 2 A、DFD 651机台了解 CO2滤净机 显示器 指示灯 升降台 料盒 切割轴 直行操作架 旋转操作架 3 切割工作盘 清洗工作盘 旋转操作架 直行操作架 切割轴、切割刀 操作键盘 4 DFD651晶圓切割機的兩根切割軸以及切割刀 切割Z1軸 切割Z2軸 5 电源控制开关 总水阀 总气阀 〔机器左侧面〕 〔机器右侧面〕 〔机器后部〕 6 CUTTING BLADE 冷却刀具用水 WATER SHOWER 喷在刀刃上，清洗刀刃 WASHING SPRAY 清洗晶圆用水 WATER SPRAY 清洗晶元用水 纯水流量表 〔位于机台正左方〕 7 B、键盘讲解： SET UP：测高快捷键 DEVICE DATA：调出参数快捷键 AUX：不用 NEW CST：按下后使料盒从第一个第一格开始取料 S/T VAC：清洗盘真空压力开/关 SYS INIT：系统初始化 CUT WATER：切割水开/关 SPNDL：转轴开/关 C/T VAC：切割盘真空压力开/关 ZEM：转轴紧急抬起按钮 INDEX：索引 SCR INDEX：SCR索引 SHIFT：键盘切换 8 C、日常操作： 开机；系统初始化〔快捷键SYS INIT〕 确认