钢中非金属夹杂物扫描电镜的典型采集条件、X 射线计数和化学分类统计、检测结果典型实例.pdfVIP

GB/T 30834—XXXX 附 录 A （资料性附录） 扫描电镜的典型采集条件 表A.1给出了扫描电镜的典型采集条件。 表A.1扫描电镜的典型采集条件 参数 说明 放大倍数 整体扫描所用的放大倍数，放大倍数可自动增大测定颗粒。 夹杂物最小尺寸 夹杂物颗粒分析的最小尺寸（平均费雷特直径） 夹杂物最大尺寸 夹杂物颗粒分析的最大尺寸（平均费雷特直径） 夹杂物最大数量 分析终止条件，鉴定的夹杂物数量达到该值时分析将终止。 视场最大数量 分析终止条件，分析的视场数量达到该值时分析将终止。 最长总时间 整个夹杂物分析任务的终止条件。 最小长宽比 考虑延长夹杂物而设最小长宽比，其定义为长度与宽度的比值，长度为最大直 径，宽度垂直于最大直径。 光谱最小计数量 能谱分析中所有峰计数的总量，必须等于或大于该计数量颗粒才被计入分析， 可用作阈值来排除干扰谱峰。 鉴定元素必需的最小计数量 每个元素的最小计数量。谱峰标定的一个条件是谱峰(P)的净计数量必须大于背 1/2 底(B)平方根的3 倍，即P 3(B )。 每个夹杂物最长计数时间 允许夹杂物颗粒的最长谱峰积累时间，为分析终止条件。 每个视场最大颗粒数量 终止条件。分析的颗粒数量达到该值时视场分析终止。 X 射线采集模式 点— 将电子束置于颗粒的中心 线— 重复画取测量线 光栅— 围绕颗粒周界扫描一个长方形区域 周界— 重复追踪颗粒的周界 搜索像素大小 搜索颗粒所用的像素大小：例如256×256 或512×512 搜索停留时间 颗粒检测时电子束停留在每一点的时间，毫秒 测量停留时间 颗粒尺寸测量时电子束停留在每一点的时间，毫秒。该值越高，测量的图像噪 声越小，但分析速度越慢。 图像停留时间 每一像素的停留时间，用以采集数字图像。 化学参数 用来存储每一个颗粒化学组成的细节。 例如，含量、个数、强度比等等。 13 GB/T30834—×××× 附 录 B （资料性附录） X 射线计数和化学分类统计 B.1 X射线计数统计 B.1.1 X射线的产生和测量是一个数据统计的过程。在扫描电镜中电子束照射到试样上，如果电子携 带足够的能量，那么就可能产生X射线，然后设定的一束X射线可能离开试样表面并击中探测器，最后 将被检测和计数。因此，即使是理想试样经高质量仪器的检测，特定X射线的测量强度变化也很大。 B.1.2 测试结果的分散程度由高斯软件进行处理