洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程.docxVIP

文 件 洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程 编 号 SOP?09?1017 版 本 2 页码 1/4 编 制 ? 日　期 ? 替 代 ∕ 审 定 ? 日　期 ? 颁 发 质量保障部 批 准 ? 日　期 ? 生 效 年1月20日 发 放 质保中心 依据：目的：建立洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程 范围：生产车间洁净区、生测室 1.洁净标准：测试仪器及测试条件。 洁净级别及标准 洁净级别 尘粒数/立方米 ≥0.5um ＞5um 100级 3500 0 10000级 350000 2000 100000级 3500000 20000 300000级 1050000 60000 2.测试仪器 Y09-9型激光离子数计数器 3测试条件 3.1静态测试：系指洁净厂房的空气净化系统已处于正常运行状态，生产设备已安装，室内没有生产人员的测试。 3.2动态测试：洁净厂房的空气净化系统已处于正常状态，生产设备及生产人员已处于正常生产状态的测试。 3．3测试工作应在动态条件下进行。 3．4采样管为仪器所使用的。 3．5 仪器须经预热进入稳定状态后，方可测试记录，每个测试点连续3—5次(即 连续读数)每次检测周期为2min，采样量5．66L／min。 3．6测试时，对环境测试参数应有记录。 4、测试点的确定及采样次数 4．1 万级、十万级洁净区域的测试，根据洁净区域的面积的大小及形状选择测试点应遵循。 4．1．1 平而面积小于5平方米且呈狭长形状的区域，可设3个检测点。 如图： --☉--☉---☉--- 1 2 3 ☉ ---------- ☉ ☉ 2 3 4．1．2平均面积大于5平方米，小于30平方米的区域，可用对角线五点法。 ☉ ☉ ☉ ☉ ☉ 4．1．3平面面积大于30平方米的区域可适当增加检测点。 5．测试数据的处理及判断 5.1如各测试点的测试植均不超过（超过）该洁净级别规定的限度时，即可判为符合（不符合）洁净级别要求。 5．1．1测试结果取各测试点读数平均值时，按公式 C =（C1+C2+C3+…+Cm）/m计算，单位：个/平方米 式中：C1、C2、…Cn分别为第1、2…、m为次读值,m为采样次数。 5．1．2测试结果全部测试点测试平均值时，按公式 N =（ C1 + C2+ C3+…+Cn）/n计 算，单位：个/平方米 式中：C1、C2、…Cn分别为第1、2…、n为测试值, n为测试点数。 5.2如在选定的所有测试点中，各测试点的测试值出现有超过或不超过该洁净级别规定的限度时，按下列公式计算： （1）分别求出各采样次数的平均值，单位：个/平方米 C=（C1+C2+C3+…+Cm）/m（m为采样次数） (2)求全部采样测试点的平均值，单位：个／立方米 N=(C1+C2+C3+…+Cn)／n(n为测试点数) (3)求平均值的标准误差 c、求平均值的标准误差 n dN = Σ(Ci-Ci-1) i=1 n(n-1) 求95％置信上限UCL UCL= N ±t×dN(t为系数)，单位：个／立方米 95％置信上限的系数(t)表： 测试点数 3 4 5 6 7—9 lO一16 t 2．9 2．4 2．1 2．O 1．9 1．8 计算结果ucl值若不超过洁净级别规定限度时，可判为符合洁净级别要求。若UCL值超过洁净级别规定的限度时，则判为不符合洁净级别要求。 6、测定注意事项 6．1检查时测定仪器正常，并作外表洁净后方可进入测试环境，采样管必须清洁，仪器按规定预热稳定。 6．2测试点及采样次数均应在测试开始前确定，防止在测试过程随意改变测 试点及改变采样次数。 6．3对不同洁净级别分别商量定时应从含尘粒浓度由低至高的次序进行，即先测100级后测10000级。 6．4 更换测试点时，应待仪器读数下降至稳定后，方可开始新测试点读数。 6．5进入洁净厂房的测试人员不超过2人。测试过程中测试人员应位于采样口的下风侧。 6．6测试结果不符合洁净级别要求，应按原方法