第四讲衍射光栅及制作技术.pptVIP

干涉条纹间距（即光栅常数）： d=?/2nsin? 可以看出： A. 改变?、n、?均可改变光栅常数 B. ?、n、?不可能任意改变 * 产生双光束干涉条纹的光学系统 分波前系统 光学系统 分振幅系统 * * Kr+ laser 透镜 反射镜 空间滤波器 光栅基片 光刻胶 反射镜 * 美国LLNL制作940mm全息光栅的光学系统 * * * * 光栅线密度 红外波段：300～600线/mm 可见波段： 600线/mm 紫外波段：1200～2400线/mm 实用线密度最高可达：10000线/mm * 全息-离子束刻蚀光栅 * 工艺流程 基板准备 涂胶 曝光 显影 离子束刻蚀 清洁处理 * 全息-离子束刻蚀闪耀光栅 * 离子束 ? ? 闪耀角 * 光刻胶光栅条纹截面形状需要严格控制 ? 离子束刻蚀对光刻胶光栅掩模图形的要求 ? M N o * 第四讲衍射光栅及制作技术 一. 引言 二. 三. 几种其它光栅元件 * 一. 引言 * 什么是衍射光栅 ?任何具有空间周期性的衍射屏都可以叫做 衍射光栅。 ?衍射元件的重复阵列能够使一个出射波的 位相、振幅