材料科学研究（第4版）课件：电镜附件与选区衍射.pptxVIP

材料研究方法电镜附件与选区衍射 课程内容附件一有效相机常数与选区衍射二一、附件1.样品倾斜装置（样品台）样品台是位于物镜的上下极靴之间承载样品的重要部件，见图6-16，并使样品在极靴孔内平移、倾斜、旋转，以便找到合适的区域或位向，进行有效观察和分析。 高衬度光栏6-16 样品台在极靴中的位置（JEM-2010F）注：物镜光栏（衬度）在后焦面上一、附件分为顶置式和侧置式两种。1）顶置式即为样品台从极靴上方插入。优点：（1）保证试样相对于光轴旋转对称，极靴间距可很小，提高了分辨率； （2）具有良好的抗振动性和热稳定性。不足：（1）倾角范围小，且倾斜时无法保证观察点不发生位移； （2）顶部信息收集困难，分析功能少。2）侧置式，即样品台从极靴的侧面插入。优点：（1）顶部信息如背散射电子和X射线等收集方便，增加了分析功能。 （2）试样倾斜范围大，便于寻找合适的方位进行观察和分析。不足：侧置式的极靴间距不能过小，这就影响了电镜分辨率的进一步提高。 图6-17为双倾侧插式样品台的工作示意图，通过样品杆的控制，使样品同时绕x-x和y-y轴转动，倾转的度数由镜筒外的刻度盘读出，从而实现双倾操作。对样品台要求：（1）样品夹持牢固。 （2）样品移动翻转机构的精度要高，否则影响聚焦操作。 一、附件2. 电子束的平移和倾斜装置-照明系统中，聚光镜下方 1）电镜中是靠电磁偏转器来实现电子束的平移和倾斜的。 2）电磁偏转器由上下两个偏置线圈组成，通过调节线圈电流的大小和方向可改变电子束偏转的程度和方向。 （1）当上下偏置线圈的偏转角度相等，但方向相反，实现了电子束的平移。 （2）若上偏置线圈使电子束逆时针偏转?角，而下偏置线圈使之顺时针偏转?＋?角，则电子束相对于入射方向倾转?角，此时入射点的位置保持不变，这可实现中心暗场操作。图6-18 电磁偏转器的工作原理图一、附件3. 消像散器－物镜和中间镜 （a）磁极分布 （b）有像散时的电子束斑 （c）无像散时的电子束斑 图6-19 电磁式消像散器示意图及像散对电子束斑形状的影响消像散器有机械式和电磁式两种，机械式：对称放置位置可调的导磁体，调节导磁体的位置消除像散。电磁式：两组四对同极相对电磁体，改变电磁体的磁场方向和强度消除像散。一、附件4. 光阑光阑是为挡掉发散电子，保证电子束的相干性和电子束照射所选区域而设计的带孔小片。根据位置的不同，分为聚光镜光阑、物镜光阑和中间镜光阑三种。1）聚光镜光栏 聚光镜光阑的作用是限制电子束的照明孔径半角。在双聚光镜系统中通常位于第二聚光镜的后焦面上。聚光镜光栏的孔径一般为20～400?m。2）物镜光阑 物镜光阑位于物镜的后焦面上，其作用是：（1）减小孔径半角，提高成像质量；（2）进行明场和暗场操作，当光阑孔套住衍射束成像时，即为暗场成像操作，反之，当光阑孔套住透射束成像时，即为明场成像操作。利用明暗场图像的对比分析，可以方便地进行物相鉴定和缺陷分析。物镜光阑孔径一般为20～120?m。物镜光阑又称衬度光阑。一、附件3）中间镜光阑－中间镜的物平面或物镜的像平面中间镜光栏位于中间镜的物平面或物镜的像平面上，让电子束通过光栏孔限定的区域，对所选区域进行衍射分析，故中间镜光栏又称选区光阑。一般选区光栏的孔径为20～400?m。光栏由Pt或Mo等制成，四个或六个一组，安置在光栏支架上，以便选择。（1）衍射操作与成像操作：是通过改变中间镜励磁电流的大小来实现的。（2）明场操作与暗场操作：是通过平移物镜光栏实现的。仅让透射束通过的操作称为明场操作，所成的像为明场像；反之，仅让某一衍射束通过的操作称为暗场操作，所成的像为暗场像。（3）选区操作：是通过平移在物镜像平面上的选区光阑，让电子束通过所选区域进行成像或衍射的操作。注意：二 、有效相机常数与选区衍射1. 有效相机常数L?=f0MIMPR?=r MIMP R?= L??g 令K?= L?? 得R?= K?g L? －有效相机长度；K?－有效相机常数。注意：L?并不直接对应于样品至照相底片间的实际距离， L?随着物镜、中间镜、投影镜的励磁电流改变而变化，而样品到底片间的距离却保持不变，但透镜焦长大，不妨碍成清晰图像。故可不加区分K与K?、L与L?和R与R?了，并用K直接取代K?。 图6-20透射电镜电子衍射原理图2. 选区电子衍射图6-21 选区电子衍射原理图选区光阑（又称中间镜光阑）套在感兴趣的区域，分别进行成像操作或衍射操作，实现所选区域的形貌分析和结构分析。1）成像操作使物镜精确聚焦，获得清晰形貌像。2）选区光阑，套住被选视场，调整物镜电流，使光阑孔内的像清晰，保证了物镜的像平面与选区光栏面重合； 3）调整中间镜的励磁电流，使光阑边缘像清晰，从而使中间镜的物平面与选区光阑的平面重合，这也使选区光阑面、物