材料科学研究（第4版）课件：电子背散射衍射应用.pptxVIP

电子背散射衍射应用 材料研究方法 课程内容 一 EBSD的样品制备 EBSD应用 二 一、EBSD的样品制备 进行EBSD分析的前提是制备出能够代表试样微观结构的平整表面，避免在制样过程中引入表面塑性变形、化学污染或氧化层。 机械抛光对于硬度较高的样品，如钢、金属间化合物，可利用机械抛光方法获得平整表面 电解抛光对于强度低而容易产生表面变形的金属材料，电解抛光通常是机械抛光的必需步骤 离子研磨用离子枪轰击倾斜样品表面，去除变形层。具体材料、离子枪电流、电压等参数均可能影响制样效率。 二、EBSD应用：取向衬度成像 电沉积纳米孪晶铜的EBSD取向衬度图像   反极图衬度（某一宏观特征方向在反极图中的位置） 晶粒形状、尺寸；以及晶界特征 二、EBSD应用：织构分析 散点图形式（极图、反极图） 取向密度函数分布 对取向数据进行统计学分析 二、EBSD应用：晶粒取向差及晶界特性分析   二、EBSD应用：物相鉴定 早期，EBSD仅能实现物相“识别”，即从样品可能存在的几个物相(可用X射线衍射事先确定)中挑出最可能的相。 近年来，扫描电镜中EBSD系统逐渐与电子能谱(EDS)分析集成。结合EBSD和EDS使未知相的鉴定更加有效和准确。首先利用EDS分析待测相的化学成分，并从晶体学数据库中检索出符合化学成分的所有物相，形成待定物相列表；然后利用EBSD进一步确定物相。 二、EBSD应用：晶格缺陷分析 316L不锈钢再结晶体积分数 晶格缺陷密度显著影响电子背散射衍射谱的质量和菊池带的清晰度。菊池带的清晰度随晶格缺陷密度增大而降低。